特許

J-GLOBAL ID：200903032538436954

共焦点顕微鏡

発明者： 奥川 久 ,  相川 直志
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 古谷 史旺
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-083319
公開番号（公開出願番号）：特開2005-274591
出願日： 2004年03月22日
公開日（公表日）： 2005年10月06日
要約：

【課題】本発明は、シンプルな構成でありながらも高精度にセクショニング分解能を変更することの可能な共焦点顕微鏡を提供することを目的とする。【解決手段】照明光束を射出する光源(11)と、前記照明光束を試料上に集光する光学系(12,16)と、前記試料からの射出光束を集光する集光光学系と、前記集光光学系の焦点面近傍の所定位置に配置され、前記射出光束を少なくとも2つの光束に分離する光分離部材(19)と、前記光分離部材により分離された光を検出する検出手段(20,21)とを備え、前記光分離部材には、前記集光光学系の焦点深度内の所定面に対し傾斜して挿入され、かつ前記照明光束の前記試料上の集光位置と略共役な位置に入射する前記射出光束の中央部付近の中央光束と、周辺部に入射する周辺光束との一方を反射し他方を透過する光分離面(19a,19b)が複数設けられており、前記検出手段は、前記光分離面が反射及び透過した複数の前記光束の単独の光量、又は任意の2以上の光束の光量の和を検出可能な構成となっていることを特徴とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

照明光束を射出する光源と、 前記照明光束を試料上に集光する光学系と、 前記試料からの射出光束を集光する集光光学系と、 前記集光光学系の焦点面近傍の所定位置に配置され、前記射出光束を少なくとも2つの光束に分離する光分離部材と、 前記光分離部材により分離された光束を検出する検出手段とを備え、 前記光分離部材には、 前記集光光学系の焦点深度内の所定面に対し傾斜して挿入され、かつ前記照明光束の前記試料上の集光位置と光学的に略共役な位置に入射する前記射出光束の中央部付近の中央光束と、周辺部に入射する周辺光束との一方を反射し他方を透過する光分離面が複数設けられており、 前記検出手段は、 前記光分離面が反射及び透過した複数の前記光束の単独の光量、又は任意の2以上の光束の光量の和を検出可能な構成となっている ことを特徴とする共焦点顕微鏡。

IPC (1件)：

G02B21/00

FI (1件)：

G02B21/00

Fターム (12件)：

2H052AA08 ,  2H052AA09 ,  2H052AB24 ,  2H052AC04 ,  2H052AC15 ,  2H052AC27 ,  2H052AC29 ,  2H052AD31 ,  2H052AD34 ,  2H052AD35 ,  2H052AF06 ,  2H052AF21

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 実開平6-16927号公報
  

審査官引用 (4件)

• 特開平2-221909
  
• 任意の対象物の表面プロフィールを同時多焦点結像するための装置および方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平10-525073   出願人：ライカミクロジュステムスハイデルベルクゲーエムベーハー
• 共焦点走査型光学顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-278003   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 走査型光学顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-040393   出願人：オリンパス光学工業株式会社