特許
J-GLOBAL ID：200903032602596740
集積型光起電力装置の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鳥居 洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-093118
公開番号（公開出願番号）：特開2001-284613
出願日： 2000年03月30日
公開日（公表日）： 2001年10月12日
要約：
【要約】【課題】 この発明は、厚膜TCOを用いても容易に分離加工ができる光起電力装置の製造方法の提供する。【解決手段】 この発明は、支持基板1上に、背面電極層2、光起電力層となる半導体層3、及び表面電極層4を順次積層して形成した集積型光起電力装置の製造方法において、前記表面電極層4上に透明保護膜5を所定のパターンに形成した後、前記透明保護膜5をマスクにして表面電極層4をエッチング除去して分離する。
請求項（抜粋）：
支持基板上に、背面電極層、光起電力層となる半導体層、及び表面電極層を順次積層して形成した集積型光起電力装置の製造方法において、前記表面電極層上に透明保護膜を所定のパターンに形成した後、前記透明保護膜をマスクにして表面電極層をエッチング除去して分離することを特徴とする集積型光起電力装置の製造方法。
Fターム (14件)：
5F051AA05
, 5F051BA11
, 5F051CA15
, 5F051CB15
, 5F051CB21
, 5F051CB27
, 5F051DA04
, 5F051DA17
, 5F051EA15
, 5F051EA16
, 5F051EA18
, 5F051FA02
, 5F051FA06
, 5F051HA03
