特許
J-GLOBAL ID:200903032666041601
透明導電性フィルムおよびタッチパネル
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
江藤 聡明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-351800
公開番号(公開出願番号):特開2003-151358
出願日: 2001年11月16日
公開日(公表日): 2003年05月23日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】高分子フィルムからの透明導電膜の脱落、剥離を防止し、耐摺動性に優れた透明導電性フィルムを製造する。【解決手段】 高分子フィルム及び気相成膜法によりその上に設けられた金属酸化物からなる透明導電膜、好ましくはITO膜を含む透明導電性フィルムであって、透明導電膜が第一の金属酸化物からなる透明導電膜4およびその上に設けられた第二の金属酸化物からなる透明導電膜5からなり、第二の透明導電膜の成膜条件が第一の透明導電膜の成膜条件と異なる条件、例えば酸素含有率、窒素含有率、結晶状態及び/又は表面形状、スパッタ時の圧力、製膜速度等を異にして形成されてなる透明導電性フィルム。
請求項(抜粋):
高分子フィルムおよびその上に気相成膜法により設けられた金属酸化物からなる透明導電膜を含む透明導電性フィルムであって、金属酸化物からなる透明導電膜が、第一の金属酸化物からなる透明導電膜およびその上に設けられた第二の金属酸化物からなる透明導電膜からなり、かつ第二の金属酸化物からなる透明導電膜が第一の金属酸化物からなる透明導電膜の成膜条件と異なる条件で形成されていることを特徴とする透明導電性フィルム。
IPC (5件):
H01B 5/14
, B32B 7/02 104
, C23C 14/08
, C23C 14/34
, H01B 13/00 503
FI (7件):
H01B 5/14 A
, B32B 7/02 104
, C23C 14/08 D
, C23C 14/08 N
, C23C 14/34 A
, C23C 14/34 N
, H01B 13/00 503 B
Fターム (33件):
4F100AA17B
, 4F100AA17C
, 4F100AA28B
, 4F100AA28C
, 4F100AK01A
, 4F100AK42
, 4F100BA03
, 4F100BA07
, 4F100BA10A
, 4F100BA10C
, 4F100BA27
, 4F100EH66B
, 4F100GB41
, 4F100JG01B
, 4F100JG01C
, 4F100JL01
, 4F100JN01B
, 4F100JN01C
, 4K029AA11
, 4K029AA25
, 4K029BA50
, 4K029BB02
, 4K029BC03
, 4K029CA06
, 4K029DC05
, 5G307FA02
, 5G307FB01
, 5G307FB04
, 5G307FC01
, 5G307FC02
, 5G323BA02
, 5G323BB03
, 5G323BB05
引用特許: