金属酸化物構造体及びその製造方法

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：武井英夫 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-117564
公開番号（公開出願番号）：特開2000-159599
出願日： 1999年04月26日
公開日（公表日）： 2000年06月13日
要約：

【要約】 (修正有)【解決手段】断面の円換算径が0.01〜10000μmであり、かつ断面の円換算径に対する長さの比が0.1以上である金属酸化物の突起物を有する金属酸化物構造体、及び揮発性又は昇華性を有し、且つ、大気中の化合物と反応して酸化物を形成する一種または多種の金属化合物を放出し、金属化合物より高い温度に設定された基材上に吹き付ける上記の金属酸化物構造体の製造方法。【効果】本発明の構造体は、小さな容積で表面積を大きくすることができ、絶縁体、導電体、固体電解質、蛍光表示管、EL素子、セラミックコンデンサー、アクチュエーター、レーザー発振素子、冷陰極素子、強誘電体メモリー、圧電体、サーミスター、バリスタ等や表面修飾剤、表面保護剤、反射防止剤、抗菌、防汚効果等を目的とする表面改質剤、気相や液相やその両方の相における触媒やその担体等に使用することができる。

請求項（抜粋）：

断面の円換算径が0.01〜10000μmであり、かつ断面の円換算径に対する長さの比が0.1以上である金属酸化物の突起物を有する金属酸化物構造体。

IPC (2件)：

C30B 29/62 , C23C 16/40

FI (3件)：

C30B 29/62 C , C30B 29/62 D , C23C 16/40

引用特許：

出願人引用 (2件)

透明導電膜
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-091327 出願人：グンゼ株式会社
特開平4-044640

審査官引用 (2件)

透明導電膜
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-091327 出願人：グンゼ株式会社
特開平4-044640

引用文献：

出願人引用 (1件)

Preferential orientation of titanium dioxide polycrystalline films using atmospheric CVD technique

審査官引用 (2件)

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