特許
J-GLOBAL ID：200903032676223660
電極板及びそれを用いた通電検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富田 和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-225323
公開番号（公開出願番号）：特開平11-064388
出願日： 1997年08月21日
公開日（公表日）： 1999年03月05日
要約：
【要約】【課題】信頼性の高い通電検査結果を得ることができるバーンインボードを提供する。【解決手段】バーンインボード15上の所定の領域に電子部品10を載置し、これの背面をソケット13によって押圧すると、接触端子11aの表面上の導電体粒子4aが、電子部品10の電極パッド10a上に形成されているバンプ9の酸化被膜を突き破り、その内部に食い込む。これにより、電子部品10の電極パッド10aとバーンインボード15の接触端子11aとの間に電気的接続が確立される。
請求項（抜粋）：
電子部品と通電検査装置との間を電気的に接続するための電極板であって、前記電子部品の電極パッド上に形成されたバンプを押し当てるための接触端子を有し、当該接触端子の表面に、複数の導電体粒子の一部で当該導電体粒子を固定した薄膜を配置させたことを特徴とする電極板。
IPC (3件)：
G01R 1/073
, H01L 21/326
, H01L 21/66
G01R 1/073 F
, H01L 21/326
, H01L 21/66 H
, H01L 21/66 B
