特許

J-GLOBAL ID：200903032733229963

マイクロメカニカル回転速度センサ

発明者： ライナー ヴィリッヒ ,  アンドレーアス トーメ ,  ブルクハルト クールマン ,  イェルク ハウアー ,  ウード-マーティン ゴメス ,  ジークベルト ゲツ ,  クリスティアン デーリング ,  ミヒャエル フェーレンバッハ ,  ヴォルフラム バウアー ,  ウードー ビショッフ ,  ラインハルト ノイル ,  カールステン フンク ,  マルクス ルッツ ,  ゲアハルト ヴーハー ,  ヨッヘン フランツ
出願人/特許権者： ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング
代理人 (3件)： 矢野 敏雄 ,  アインゼル・フェリックス=ラインハルト ,  ラインハルト・アインゼル
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-564526
公開番号（公開出願番号）：特表2005-516207
出願日： 2002年09月23日
公開日（公表日）： 2005年06月02日
要約：

本発明は、マイクロメカニカル回転速度センサに関しており、第1のコリオリ質量要素(2a)及び第2のコリオリ質量要素(2b)を有しており、該第1のコリオリ質量要素(2a)及び第2のコリオリ質量要素(2b)は、基板(100)の上面上に設けられており、駆動装置を有しており、該駆動装置によって、第1のコリオリ質量要素(2a)及び第2のコリオリ質量要素(2b)とが、第1の軸(x)に沿って振動するように駆動可能であり、検出装置を有しており、該検出装置によって、第1のコリオリ質量要素(2a)及び第2のコリオリ質量要素(2b)との、相応に作用するコリオリ力に基づいて生じる、第1の軸(x)に対して垂直な第2の軸(y)に沿った偏移量が検出可能であり、第1の軸(x)及び前記第2の軸(y)は、前記基板(100)の上面に対して平行であり、検出装置は、第1の検出質量装置(3a,3a′)及び第2の検出質量装置(3b,3b′)を有しており、第1のコリオリ質量要素(2a)、第2のコリオリ質量要素(2b)、第1の検出質量装置(3a,3a′)及び第2の検出質量装置(3b,3b′)の回転点は静止状態で共通の質量回転点(SP)に一致する。

請求項（抜粋）：

マイクロメカニカル回転速度センサにおいて、 第1のコリオリ質量要素(2a)及び第2のコリオリ質量要素(2b)を有しており、該第1のコリオリ質量要素(2a)及び第2のコリオリ質量要素(2b)は、基板(100)の上面上に設けられており、 駆動装置を有しており、該駆動装置によって、前記第1のコリオリ質量要素(2a)及び前記第2のコリオリ質量要素(2b)とが、第1の軸(x)に沿って振動するように駆動可能であり、 検出装置を有しており、該検出装置によって、前記第1のコリオリ質量要素(2a)及び前記第2のコリオリ質量要素(2b)との、相応に作用するコリオリ力に基づいて生じる、前記第1の軸(x)に対して垂直な第2の軸(y)に沿った偏移量が検出可能であり、 前記第1の軸(x)及び前記第2の軸(y)は、前記基板(100)の上面に対して平行であり、 検出装置は、第1の検出質量装置(3a,3a′)及び第2の検出質量装置(3b,3b′)を有しており、 第1のコリオリ質量要素(2a)、第2のコリオリ質量要素(2b)、第1の検出質量装置(3a,3a′)及び第2の検出質量装置(3b,3b′)の回転点は静止状態で共通の質量回転点(SP)に一致する ことを特徴とするマイクロメカニカル回転速度センサ。

IPC (2件)：

G01C19/56 ,  G01P9/04

FI (2件)：

G01C19/56 ,  G01P9/04

Fターム (7件)：

2F105BB03 ,  2F105BB07 ,  2F105BB13 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD07

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 回転角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-207355   出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
• 角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-176992   出願人：アイシン精機株式会社
• 角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-280153   出願人：株式会社村田製作所
• 特許第6308568号