特許
J-GLOBAL ID：200903091213096819

大型ペリクルの搬送方法、搬送用治具及びペリクルケース

発明者：
飛田 敦

飛田 敦 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (1件)： 金山 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-355288
公開番号（公開出願番号）：特開2006-163037
出願日： 2004年12月08日
公開日（公表日）： 2006年06月22日
要約：
【課題】 従来の大型ペリクルを含め、大型ペリクルを搬送するのに適切な簡便な搬送方法を提供するものであり、そのための搬送用治具、及び大型ペリクルを収納するペリクルケースを提供する。【解決手段】 ペリクルフレーム上面にペリクル膜を設け、前記ペリクルフレーム下面にフォトマスクに接着するための粘着面を形成してなる大型ペリクルの搬送方法において、前記ペリクルフレーム下面の一部を前記大型ペリクルの搬送用治具の表面に一時的に粘着させて搬送することを特徴とする。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
ペリクルフレーム上面にペリクル膜を設け、前記ペリクルフレーム下面にフォトマスクに接着するための粘着面を形成してなる大型ペリクルの搬送方法において、 前記ペリクルフレーム下面の一部を前記大型ペリクルの搬送用治具の表面に一時的に粘着させて搬送することを特徴とする大型ペリクルの搬送方法。
IPC (4件)：
G03F 1/14 ,  G03F 7/20 ,  H01L 21/027 ,  B65D 85/86
FI (4件)：
G03F1/14 J ,  G03F7/20 501 ,  H01L21/30 502P ,  B65D85/38 R
Fターム (34件)：
2H095BC31 ,  2H095BE11 ,  2H097JA01 ,  2H097LA12 ,  3E096AA01 ,  3E096BA15 ,  3E096BA20 ,  3E096BA30 ,  3E096BB03 ,  3E096BB05 ,  3E096CA06 ,  3E096CA30 ,  3E096CB02 ,  3E096DA03 ,  3E096DA17 ,  3E096DA30 ,  3E096DB10 ,  3E096DC02 ,  3E096EA02X ,  3E096EA02Y ,  3E096EA06X ,  3E096EA06Y ,  3E096FA03 ,  3E096FA10 ,  3E096FA15 ,  3E096FA16 ,  3E096FA19 ,  3E096FA26 ,  3E096FA27 ,  3E096FA29 ,  3E096FA30 ,  3E096FA31 ,  3E096GA04 ,  3E096GA07
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (7件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM