特許
J-GLOBAL ID：200903032786189670
静電チャック
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-138276
公開番号（公開出願番号）：特開2002-334920
出願日： 2001年05月09日
公開日（公表日）： 2002年11月22日
要約：
【要約】【課題】 静電チャックの誘電体を通して流れる漏れ電流を、安定して低減し、かつ被吸着物と静電チャック表面の凹部での放電に対する耐性を著しく向上させる静電チャックを提供する。【解決手段】 誘電体を有し、かつ誘電体の被吸着物との接触面側を凹凸形状に加工した静電チャックにおいて、凹部の全面又は一部を誘電体より高い体積固有抵抗を有する絶縁体で被覆してなる静電チャック。
請求項（抜粋）：
誘電体を有し、かつ誘電体の被吸着物との接触面側を凹凸形状に加工した静電チャックにおいて、凹部の全面又は一部を誘電体より高い体積固有抵抗を有する絶縁体で被覆してなる静電チャック。
Fターム (7件)：
5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031HA03
, 5F031HA08
, 5F031HA16
, 5F031PA08
, 5F031PA23
