静電チャック及びウエハの吸着方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石田敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-330663
公開番号（公開出願番号）：特開平9-172055
出願日： 1995年12月19日
公開日（公表日）： 1997年06月30日
要約：

【要約】【課題】静電チャックに関し、ウエハを安定的な温度で確実に保持することができるようにすることを目的とする。【解決手段】第1及び第2の表面を有する電極14と、該電極の少なくとも第1の表面を覆う第1の層16を有する誘電体12と、該電極に通電するための手段22と、該誘電体の該第1の層の表面に冷却ガスを供給する冷却ガス供給手段26とを備え、該誘電体の該第1の層の表面に複数の微小な突起28が設けられており、該微小な突起28の各々は先端部が根元よりも小さい形状に形成されていてウエハを実質的に点接触で保持するようになっており、該誘電体の第1の層の表面に保持されたウエハが該冷却ガス供給手段から供給された冷却ガスにより冷却されるようにした構成とする。

請求項（抜粋）：

第1及び第2の表面を有する電極(14)と、該電極の少なくとも第1の表面を覆う第1の層(16)を有する誘電体(12)と、該電極に通電するための手段(22)と、該誘電体の該第1の層の表面に冷却ガスを供給する冷却ガス供給手段(26)とを備え、該誘電体の該第1の層の表面に複数の微小な突起(28)が設けられており、該微小な突起(28)の各々は先端部が根元よりも小さい形状に形成されていてウエハ(W)を実質的に点接触で保持するようになっており、該誘電体の第1の層の表面に保持されたウエハが該冷却ガス供給手段から供給された冷却ガスにより冷却されるようにしたことを特徴とする静電チャック。

IPC (4件)：

H01L 21/68 , B23Q 3/15 , C23C 14/50 , H02N 13/00

FI (4件)：

H01L 21/68 R , B23Q 3/15 D , C23C 14/50 D , H02N 13/00 D

引用特許：

審査官引用 (10件)

静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-064122 出願人：富士通株式会社, 富士通ヴィエルエスアイ株式会社
板状体の保持装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-271152 出願人：株式会社日立製作所, 日立東京エレクトロニクス株式会社
特開平4-211146

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