パターニングされた素子の繰り返しアレイに不規則性を導入する多段階処理

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：伊東忠彦 , 大貫進介 , 伊東忠重
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-535575
公開番号（公開出願番号）：特表2007-510289
出願日： 2004年10月07日
公開日（公表日）： 2007年04月19日
要約：

基板をプリントするためのシステム及び技術。ある実装で、方法は、部位が繰り返し現れるアレイに不規則性を導入することによる部位の実質的に任意の配置での基板のパターニングを含む。

請求項（抜粋）：

部位の繰り返しアレイに不規則性を導入することによる実質的に任意の配列で基板をパターニングする工程を有する方法。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20

FI (3件)：

H01L21/30 514A , H01L21/30 528 , G03F7/20 501

Fターム (8件)：

2H097AA13 , 2H097BA10 , 2H097BB03 , 2H097BB10 , 5F046AA11 , 5F046AA25 , 5F046AA28 , 5F046BA08

引用特許：

審査官引用 (7件)

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