特許
J-GLOBAL ID：200903032913358044

ステージ装置及び露光装置

発明者：
高岩 宏明

高岩 宏明 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (4件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和 ,  西 和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-286889
公開番号（公開出願番号）：特開2006-100686
出願日： 2004年09月30日
公開日（公表日）： 2006年04月13日
要約：
【課題】 スループットを低下させることなくステージ移動を可能とする。【解決手段】 移動面Baに沿って移動する移動ステージ53と、試料Pを保持するとともに、移動ステージ53に対して移動可能な第1移動テーブル52と、を備える。移動ステージ53に設けられ、第1移動テーブル52が第1位置K1から第2位置K2に移動した際に、第1位置K1に位置決めされる第2移動テーブル70を備えた。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
移動面に沿って移動する移動ステージと、試料を保持するとともに、前記移動ステージに対して移動可能な第1移動テーブルと、を備えたステージ装置であって、 前記移動ステージに設けられ、前記第1移動テーブルが第1位置から第2位置に移動した際に、前記第1位置に位置決めされる第2移動テーブルを備えたことを特徴とするステージ装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20
FI (3件)：
H01L21/30 515G ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 515D
Fターム (8件)：
5F046BA04 ,  5F046CB01 ,  5F046CB26 ,  5F046CC01 ,  5F046CC04 ,  5F046CC08 ,  5F046CC13 ,  5F046CD01
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (3件)

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