特許
J-GLOBAL ID:200903032952315123
可とう性成形型及びその製造方法ならびに微細構造体の製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
石田 敬
, 鶴田 準一
, 福本 積
, 西山 雅也
, 樋口 外治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-329695
公開番号(公開出願番号):特開2004-160843
出願日: 2002年11月13日
公開日(公表日): 2004年06月10日
要約:
【課題】微細構造体の製造時に所定位置にリブ等の突起物を容易かつ正確に高い寸法精度で形成できる可とう性成形型を提供すること。【解決手段】湿度応答性の材料からなる支持体と、所定の形状及び寸法を有する溝パターンを表面に備えた成形層とを有する可とう性成形型において、その成形型を金型から離型後に予め定められた温度及び湿度条件でコンディショニングすることによって、前記所定の形状及び寸法が前記溝パターンに付与されているように構成する。【選択図】 図4
請求項(抜粋):
湿度応答性の材料からなる支持体と、前記支持体上に設けられ、所定の形状及び寸法を有する溝パターンを表面に備えた成形層とを有する可とう性成形型であって、
前記成形型を金型から離型後に予め定められた温度及び湿度条件でコンディショニングすることによって、前記所定の形状及び寸法が前記溝パターンに付与されていることを特徴とする可とう性成形型。
IPC (6件):
B29C33/40
, B29C33/42
, B29C39/10
, B29C39/26
, H01J9/02
, H01J11/02
FI (6件):
B29C33/40
, B29C33/42
, B29C39/10
, B29C39/26
, H01J9/02 F
, H01J11/02 B
Fターム (47件):
4F202AA44
, 4F202AG05
, 4F202AH42
, 4F202AH81
, 4F202AJ03
, 4F202AJ09
, 4F202AJ11
, 4F202CA01
, 4F202CB01
, 4F202CD01
, 4F204AA33
, 4F204AA43
, 4F204AG05
, 4F204AH42
, 4F204AH81
, 4F204AJ03
, 4F204AJ06
, 4F204AJ09
, 4F204AJ11
, 4F204EA03
, 4F204EA04
, 4F204EB01
, 4F204EB12
, 4F204EF01
, 4F204EF05
, 4F204EK17
, 4F204EK18
, 4F204EK24
, 5C027AA09
, 5C027AA10
, 5C040FA01
, 5C040FA04
, 5C040GB03
, 5C040GB14
, 5C040GF02
, 5C040GF03
, 5C040GF19
, 5C040JA02
, 5C040JA20
, 5C040KA08
, 5C040KA14
, 5C040KA16
, 5C040KB13
, 5C040KB24
, 5C040LA14
, 5C040LA17
, 5C040MA26
引用特許:
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (10件)
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