特許
J-GLOBAL ID:200903033037343430

光記録媒体における記録マーク測定方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 松山 圭佑 ,  高矢 諭 ,  牧野 剛博
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-154131
公開番号(公開出願番号):特開2006-329825
出願日: 2005年05月26日
公開日(公表日): 2006年12月07日
要約:
【課題】光記録媒体の相変化記録膜に形成された記録マークの形状を精密に測定する。【解決手段】相変化記録膜20又はこれを被う誘電体層22を露出した状態でテスト用光記録媒体10を形成し、この光記録媒体に記録マークを形成しておき、これを、記録マーク測定装置50における走査型プローブ顕微鏡52をAFMモードとしてプローブにより走査し、得られた凹凸像の信号から、V溝の底部のみを残すデータ処理を施して、グルーブ底部強調凹凸像を得て、このグルーブ底部強調凹凸像とコンダクティブAFM像とを合成して、グルーブ底部と記録マークとの位置関係を測定する。【選択図】図2
請求項(抜粋):
相変化記録膜に記録マークが形成されている光記録媒体の表面を、走査型プローブ顕微鏡によりAFMモードで走査して、走査領域での各ポイントにおけるプローブと光記録媒体の表面との間の電流量によるコンダクティブAFM像と、プローブと光記録媒体の表面との距離から得られる高さのデータによる凹凸像とを得ることを特徴とする光記録媒体における記録マーク測定方法。
IPC (2件):
G01N 13/16 ,  G11B 7/26
FI (2件):
G01N13/16 A ,  G11B7/26
Fターム (2件):
5D121AA01 ,  5D121HH20
引用特許:
審査官引用 (9件)
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引用文献:
審査官引用 (2件)
  • 原子間力顕微鏡による相変化材料への超高密度記録
  • 原子間力顕微鏡による相変化材料への超高密度記録

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