特許
J-GLOBAL ID：200903033053070079

表面形状測定装置

発明者：
根岸 真人

根岸 真人 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 山下 亮一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-233822
公開番号（公開出願番号）：特開2004-077144
出願日： 2002年08月09日
公開日（公表日）： 2004年03月11日
要約：
【目的】測定時間を短縮し、第2の目的は、被測定物の取り付け姿勢が変化しても測定結果が影響されないようにすることができる表面形状測定装置を提供すること。【構成】3つ以上の位置マーク球と自由曲面とを有する被測定物に対し、自由曲面の形状と位置マーク球に対する相対位置を測定する表面形状測定装置において、3次元に移動可能な移動部材を有し、その移動部材に固定してプローブを有し、そのプローブを被測定物表面にトレースさせて形状を測定し、そのプローブとは別に非接触球中心位置測定手段を移動部材に固定して設け、非接触球中心位置測定手段で、先程の位置マーク球の中心位置を測定する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
3つ以上の位置マーク球と自由曲面とを有する被測定物に対し、自由曲面の形状と位置マーク球に対する相対位置を測定する表面形状測定装置であって、 3次元に移動可能な移動部材を有し、その移動部材に固定してプローブを有し、そのプローブを被測定物表面にトレースさせて形状を測定し、そのプローブとは別に非接触球中心位置測定手段を移動部材に固定して設け、非接触球中心位置測定手段で、先程の位置マーク球の中心位置を測定することを特徴とする表面形状測定装置。
IPC (4件)：
G01B21/20 ,  G01B5/00 ,  G01B5/20 ,  G01B11/00
FI (5件)：
G01B21/20 C ,  G01B5/00 F ,  G01B5/00 P ,  G01B5/20 Z ,  G01B11/00 A
Fターム (52件)：
2F062AA04 ,  2F062AA51 ,  2F062BB09 ,  2F062BB20 ,  2F062BC57 ,  2F062CC03 ,  2F062CC08 ,  2F062CC10 ,  2F062CC27 ,  2F062DD23 ,  2F062EE01 ,  2F062EE09 ,  2F062EE42 ,  2F062EE47 ,  2F062EE62 ,  2F062EE66 ,  2F062FF05 ,  2F062GG71 ,  2F062GG75 ,  2F062HH04 ,  2F062HH21 ,  2F062JJ04 ,  2F062JJ05 ,  2F065AA04 ,  2F065AA17 ,  2F065BB07 ,  2F065BB28 ,  2F065DD06 ,  2F065FF01 ,  2F065FF23 ,  2F065FF44 ,  2F065GG06 ,  2F065GG12 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ16 ,  2F065JJ22 ,  2F065LL00 ,  2F065LL08 ,  2F065LL46 ,  2F065PP04 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ27 ,  2F069AA66 ,  2F069BB40 ,  2F069DD15 ,  2F069GG01 ,  2F069GG06 ,  2F069GG52 ,  2F069GG62 ,  2F069HH01 ,  2F069JJ08 ,  2F069LL02
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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