特許
J-GLOBAL ID：200903030482657577
三次元形状測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-141298
公開番号（公開出願番号）：特開2001-324309
出願日： 2000年05月15日
公開日（公表日）： 2001年11月22日
要約：
【要約】【課題】 段取り替えに伴なう「セット誤差」を発生させることなく、2つ以上の被測定面を、短時間で、かつ、高精度に測定することができる3次元形状測定装置を提供する。【解決手段】 基準球9の位置測定を行う位置測定手段として、光学的干渉計による測定光学ヘッド5を用い、非接触により基準球9を測定するように構成した。
請求項（抜粋）：
少なくとも3つ以上の球面を有する搭載部をセットするステージと、前記搭載部に搭載された被測定物の複数の被測定面を測定する被測定面測定手段と、この被測定面測定手段での測定の際に前記球面位置を測定する位置測定手段とを備え、ステージ上の被測定物のセット状態を変更し複数の被測定面の相対形状を測定する三次元形状測定装置であって、位置測定手段が、球面位置を非接触で測定するように構成したことを特徴とする三次元形状測定装置。
Fターム (36件)：
2F065AA04
, 2F065AA17
, 2F065AA20
, 2F065AA53
, 2F065BB05
, 2F065BB07
, 2F065CC00
, 2F065CC21
, 2F065CC22
, 2F065DD06
, 2F065DD19
, 2F065FF49
, 2F065FF52
, 2F065FF55
, 2F065FF61
, 2F065GG04
, 2F065HH10
, 2F065HH13
, 2F065JJ01
, 2F065JJ03
, 2F065JJ05
, 2F065JJ09
, 2F065JJ26
, 2F065LL00
, 2F065LL02
, 2F065LL04
, 2F065LL12
, 2F065LL33
, 2F065LL36
, 2F065LL37
, 2F065LL57
, 2F065MM02
, 2F065NN06
, 2F065NN20
, 2F065PP03
, 2F065PP12
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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