特許
J-GLOBAL ID：200903033145131775
実質的に平面的な微細機械構造及び相当する電気機械的共振器の二つの機械要素のギャップ調整に対する方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
青木 篤
, 鶴田 準一
, 島田 哲郎
, 下道 晶久
, 西山 雅也
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-544904
公開番号（公開出願番号）：特表2005-510108
出願日： 2002年11月14日
公開日（公表日）： 2005年04月14日
要約：
本発明は、微細エッチングによって得られる実質的に平面的な機械構造の二つの機械要素の動作ギャップを調整するための方法に関する。本方法は、要素(E)の一つに前記要素を分離する残留ギャップの方向にある固定基準位置(RF)を帰属させること(A)、弾性的リンク(S)によって別の要素(OE)を固定基準位置(RF)に接続すること(C)、固定基準位置(RF)と別の要素(OE)との間に別の要素の最大変位振幅である隣接ギャップを規定する少なくとも一つのストップ・ブロックを設置すること(D)、隣接位置が動作位置を構成し、残留ギャップが残留ギャップと隣接ギャップとの差まで減少して微細エッチング工程の解像度より小となるまで弾性的リンク(S)に拮抗する変位を別の要素(OE)に与えること(DE)で構成される。本発明は、電気機械的共振器に応用可能である。
請求項（抜粋）：
微細エッチング工程によって得られる実質的に平面的な機械構造の二つの機械要素の動作ギャップを調整するための方法であって、前記機械要素は要素及び別の要素によってそれぞれ形成され、各々は実質的に平面的な表面で構成され、それらの表面は互いに対向して配置され、かつ前記微細エッチング工程の解像度に実質的に等しい残留ギャップを有し、前記方法は前記要素の一つに前記構造内の固定基準位置を少なくとも割り当てることで構成される方法において、
前記残留ギャップの方向の少なくとも一つの自由度に従って前記要素に対して前記別の要素を自由にすることと、
前記別の要素を弾性的リンクによって前記固定基準位置に接続し、互いに対抗して配置された実質的に平面的な表面の各々の間にあるギャップが前記残留ギャップに実質的に等しくなる静止位置を前記別の要素が前記弾性的リンクの存在下で占めることと、
前記静止位置と動作位置を構成する隣接位置との間で前記別の要素の最大変位振幅を規定する所定値の隣接ギャップを前記別の要素と少なくとも一つのストップ・ブロックとの間に与えるべく、前記構造内の前記固定基準位置を構成する前記要素と自由にされた前記別の要素との間に少なくとも一つのストップ・ブロックを設置することと、
前記隣接位置が前記動作位置を構成し、それにより前記残留ギャップが前記残留ギャップと前記隣接ギャップとの差に等しい動作ギャップにまで減少し前記微細エッチング工程の解像度より小となることが可能である限り、前記別の要素が前記弾性的リンクに拮抗する変位を受けるようにすることと、
で更に構成されることを特徴とする方法。
IPC (3件)：
H03H3/007
, B81B3/00
, H03H9/24
H03H3/007 M
, B81B3/00
, H03H9/24 Z
