特許
J-GLOBAL ID：200903033409010947
ウエハーチャック用冷却/加熱板及びウエハーチャック
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-314908
公開番号（公開出願番号）：特開2002-124559
出願日： 2000年10月16日
公開日（公表日）： 2002年04月26日
要約：
【要約】【課題】 リフト機構のピンを貫通させるための貫通穴に起因する冷却あるいは加熱性能の悪化や温度分布の悪化を防ぐことのできるウエハーチャック用冷却/加熱板を提供する。【解決手段】 中央部側から外周側にかけて放射状に形成された複数の流路をそれぞれ備えた下伝熱板、上伝熱板を互いに重ね合わせると共に、各伝熱板の複数の流路を中央部側で互いに連通させ、下伝熱板の複数の流路を外周側から中央部側へと流れた熱媒体が、上伝熱板の複数の流路を中央部側から外周側へと連続的に流れるようにしたウエハーチャック用冷却/加熱板である。該冷却/加熱板にはウエハーリフト機構が組み合わされ、該ウエハーリフト機構は、該冷却/加熱板を貫通して上下動可能にされたウエハ支持用の複数のピンを含む。冷却/加熱板における各ピンの貫通穴は、数本の流路にわたる径を持つ筒状部材により形成され、下及び上伝熱板における筒状部材の外周側には、該筒状部材による熱媒体遮断域を迂回させて前記数本の流路を連通状態にする迂回流路を設けた。
請求項（抜粋）：
中央部側から外周側にかけて放射状に形成された複数の流路をそれぞれ備えた2つの伝熱板を互いに重ね合わせると共に、一方の伝熱板の前記複数の流路と他方の伝熱板の前記複数の流路とを前記中央部側又は前記外周側で互いに連通させ、前記一方の伝熱板の前記複数の流路を前記外周側から前記中央部側又は前記中央部側から前記外周側へと流れた熱媒体が、前記他方の伝熱板の前記複数の流路を前記中央部側から前記外周側又は前記外周側から前記中央部側へと連続的に流れるようにしたウエハーチャック用冷却/加熱板であって、該ウエハーチャック用冷却/加熱板にはウエハーリフト機構が組み合わされ、該ウエハーリフト機構は該ウエハーチャック用冷却/加熱板を貫通して上下動可能にされたウエハ支持用の複数のピンを含み、前記ウエハーチャック用冷却/加熱板における前記各ピンの貫通穴は、数本の前記流路にわたる径を持つ筒状部材により形成されており、前記一方及び他方の伝熱板における前記筒状部材の外周側には、該筒状部材による熱媒体遮断域を迂回させて前記数本の流路を連通状態にする迂回流路を設けたことを特徴とするウエハーチャック用冷却/加熱板。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 P
, H01L 21/205
5F031CA02
, 5F031HA13
, 5F031HA33
, 5F031HA37
, 5F031HA38
, 5F045EJ03
, 5F045EJ09
, 5F045EK10
, 5F045EK21
, 5F045EM04
, 5F045EM09
, 5F045EM10
