特許
J-GLOBAL ID:200903033446607970
電界効果型トランジスタ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
京本 直樹 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-147526
公開番号(公開出願番号):特開2002-343814
出願日: 2001年05月17日
公開日(公表日): 2002年11月29日
要約:
【要約】【課題】InGaPチャネル層を有する電界効果型トランジスタにおいて、大きい電流振幅を可能とし、良好な高出力特性を実現する。【解決手段】n-InGaPチャネル層3を有する電界効果型トランジスタにおいて、ゲート電極8とドレイン電極7との間に半導体結晶の上部に絶縁膜9を介してゲート電極8と接続された電界制御電極10を形成する。
請求項(抜粋):
半導体基板上に、少なくともInGaP層と、前記半導体基板に離間して設けられたソース電極及びドレイン電極と、該ソース電極とドレイン電極との間にゲート電極とが配置された電界効果型トランジスタにおいて、前記InGaP層の一部または全部がチャネル層として機能し、前記ゲート電極とドレイン電極との間に、絶縁膜を介して電界制御電極が配置され、該電界制御電極と前記ゲート電極とが電気的に接続されていることを特徴とする電界効果型トランジスタ。
IPC (4件):
H01L 21/338
, H01L 29/43
, H01L 29/812
, H01L 29/872
FI (3件):
H01L 29/80 F
, H01L 29/46 H
, H01L 29/48 E
Fターム (40件):
4M104AA04
, 4M104BB11
, 4M104BB14
, 4M104BB28
, 4M104CC01
, 4M104CC03
, 4M104CC05
, 4M104DD08
, 4M104DD22
, 4M104DD34
, 4M104DD37
, 4M104DD65
, 4M104EE03
, 4M104EE16
, 4M104FF07
, 4M104FF13
, 4M104FF22
, 4M104FF27
, 4M104GG12
, 4M104HH20
, 5F102FA01
, 5F102FA02
, 5F102GB01
, 5F102GC01
, 5F102GD01
, 5F102GD10
, 5F102GJ05
, 5F102GK04
, 5F102GL04
, 5F102GL09
, 5F102GM04
, 5F102GM06
, 5F102GM08
, 5F102GN05
, 5F102GR04
, 5F102GS04
, 5F102GS06
, 5F102GT03
, 5F102GV07
, 5F102HC01
引用特許:
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