特許
J-GLOBAL ID：200903033601485894
固体粒子充填方法とその方法で作製されたナノ構造体
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-235388
公開番号（公開出願番号）：特開2006-051576
出願日： 2004年08月12日
公開日（公表日）： 2006年02月23日
要約：
【課題】 簡便かつ低コストでナノメートルオーダーの孔に物質を充填することができる固体粒子充填方法とその方法で作製されたナノ構造体を提供する。【解決手段】 固体粒子(4)がコロイド粒子として液体中に分散しているコロイド溶液(2)中に、直径1〜100nmの範囲の微細な孔が表面に形成された基材(3)を配置し、この固体粒子(4)に遠心力を負荷して微細な孔に固体粒子(4)を充填する固体粒子充填方法であって、微細な孔の開口部(5)が固体粒子(4)の遠心方向と相対するように基材(3)を配置することとする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
固体粒子がコロイド粒子として液体中に分散しているコロイド溶液中に、直径1〜100nmの範囲の微細な孔が表面に形成された基材を配置し、この固体粒子に遠心力を負荷して微細な孔に固体粒子を充填する固体粒子充填方法であって、微細な孔の開口部が固体粒子の遠心方向と相対するように基材を配置することを特徴とする固体粒子充填方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
B82B3/00
, H01L29/06 601D
, H01L29/06 601N
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (2件)
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