特許
J-GLOBAL ID：200903033623129641

大型ペリクルの製造方法

発明者：
畑山 和久

畑山 和久 について


出願人/特許権者：
信越化学工業株式会社

信越化学工業株式会社 について


代理人 (3件)： 荒井 鐘司 ,  河野 尚孝 ,  嶋崎 英一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-188724
公開番号（公開出願番号）：特開2007-010786
出願日： 2005年06月28日
公開日（公表日）： 2007年01月18日
要約：
【課題】 粘着層の厚みの不均一、表面の凹凸を改善し、貼付力の低下やフォトマスクの汚染や露光装置の破損の心配のない大型ペリクルの製造方法を提供する。【解決手段】 少なくともペリクル膜と、前記ペリクル膜が貼り付けられたペリクル枠と、前記ペリクル枠の他方の端面に設けられた粘着層とを有する、ペリクル面積が1500cm2以上の大型ペリクルにおいて、前記粘着層を前記ペリクル枠に構成する際に、前記粘着層の粘着剤を少なくとも1種類以上の液体と実質的に均一な混合物の状態で前記ペリクル枠に付着させることを特徴とする。前記粘着層の粘着剤と実質的に均一に混合される液体が炭素を含む液体であること、混合される液体の1気圧における沸点が25°C以上250°C以下であること、液体の表面張力が5mN/m以上80mN/m以下であることが、それぞれ好ましい。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
少なくともペリクル膜と、前記ペリクル膜が貼り付けられたペリクル枠と、前記ペリクル枠の他方の端面に設けられた粘着層とを有する、ペリクル面積が1500cm2以上の大型ペリクルにおいて、前記粘着層を前記ペリクル枠に構成する際に、前記粘着層の粘着剤を少なくとも1種類以上の液体と実質的に均一な混合物の状態で前記ペリクル枠に付着させることを特徴とする大型ペリクルの製造方法。
IPC (5件)：
G03F 1/14 ,  H01L 21/027 ,  C09J 7/02 ,  C09J 201/00 ,  C09J 11/06
FI (5件)：
G03F1/14 J ,  H01L21/30 503G ,  C09J7/02 Z ,  C09J201/00 ,  C09J11/06
Fターム (21件)：
2H095BC36 ,  2H095BC39 ,  4J004AA11 ,  4J004CC02 ,  4J004CC03 ,  4J004CC07 ,  4J004CE03 ,  4J004FA04 ,  4J040EK031 ,  4J040HB18 ,  4J040JB09 ,  4J040KA23 ,  4J040KA31 ,  4J040LA06 ,  4J040MB08 ,  4J040MB10 ,  4J040MB13 ,  4J040NA19 ,  4J040NA20 ,  5F046AA22 ,  5F046CB17
引用特許：
審査官引用 (9件)
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