特許
J-GLOBAL ID：200903033715941385

反射光学素子及び露光装置

発明者：
桑原 世治

桑原 世治 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (2件)： 藤元 亮輔 ,  水本 敦也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-086182
公開番号（公開出願番号）：特開2008-242332
出願日： 2007年03月29日
公開日（公表日）： 2008年10月09日
要約：
【課題】耐摩耗性に優れ、広い波長領域で高反射率を有し、S偏光反射成分とP偏光反射成分の位相差の波長に対する特性変動が小さい反射光学素子を提供する。【解決手段】反射光学素子1は、基板SBと、該基板上に積層された誘電体多層膜12とを有する。誘電体多層膜は、基板側から順に、互いに屈折率が異なる2以上の誘電体層a,bが4層以上積層されて構成された、第1の周期長を有する第1の積層群10と、互いに屈折率が異なる2以上の誘電体層が4層以上積層されて構成された、第1の周期長より長い第2の周期長を有する第2の積層群11とを含む。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板と、 該基板上に積層された誘電体多層膜とを有し、 前記誘電体多層膜は、前記基板側から順に、 互いに屈折率が異なる2以上の誘電体層が4層以上積層されて構成された、第1の光学膜厚換算周期長を有する第1の積層群と、 互いに屈折率が異なる2以上の誘電体層が4層以上積層されて構成された、前記第1の光学膜厚換算周期長より長い第2の光学膜厚換算周期長を有する第2の積層群とを含むことを特徴とする反射光学素子。
IPC (4件)：
G02B 5/08 ,  G02B 5/26 ,  H01L 21/027 ,  G03F 7/20
FI (4件)：
G02B5/08 A ,  G02B5/26 ,  H01L21/30 515D ,  G03F7/20 501
Fターム (20件)：
2H042DA08 ,  2H042DA12 ,  2H042DA18 ,  2H042DC02 ,  2H042DC09 ,  2H042DE00 ,  2H048FA05 ,  2H048FA09 ,  2H048FA15 ,  2H048FA22 ,  2H048FA24 ,  2H097BB01 ,  2H097CA12 ,  2H097CA19 ,  2H097GB02 ,  2H097LA12 ,  5F046BA05 ,  5F046CA02 ,  5F046CB02 ,  5F046CB25
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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