特許
J-GLOBAL ID：200903043229817830

紫外光用反射光学素子,光学系,光学装置及び露光装置

発明者：
津田 剛志

津田 剛志 について

, 
福田 篤

福田 篤 について

, 
吉田 英一

吉田 英一 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 佐野 弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-037954
公開番号（公開出願番号）：特開2006-227099
出願日： 2005年02月15日
公開日（公表日）： 2006年08月31日
要約：
【課題】 反射屈折光学系での結像性能を満足する紫外光用反射光学素子,光学系,光学装置及び露光装置を提供する。 【解決手段】 アルミニウム膜113上に、複数種の屈折率の異なる誘電体材料からなる誘電体薄膜が積層形成された誘電体多層膜114が設けられ、該誘電体多層膜114はP偏光とS偏光の平均反射率が80%以上の高反射膜であって、所要角度帯域においてP偏光とS偏光の反射光の位相差の変化量が40度以下である紫外光用反射光学素子111。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
アルミニウム膜上に、複数種の屈折率の異なる誘電体材料からなる誘電体薄膜が積層形成された誘電体多層膜が設けられ、該誘電体多層膜はP偏光とS偏光の平均反射率が80%以上の高反射膜であって、所要角度帯域においてP偏光とS偏光の反射光の位相差の変化量が40度以下であることを特徴とした紫外光用反射光学素子。
IPC (3件)：
G02B 5/08 ,  G02B 5/28 ,  H01L 21/027
FI (3件)：
G02B5/08 A ,  G02B5/28 ,  H01L21/30 515D
Fターム (16件)：
2H042DA08 ,  2H042DA10 ,  2H042DA12 ,  2H042DB02 ,  2H042DC02 ,  2H042DC03 ,  2H042DE00 ,  2H048FA05 ,  2H048FA18 ,  2H048FA24 ,  2H048GA04 ,  2H048GA09 ,  2H048GA33 ,  5F046BA04 ,  5F046CA04 ,  5F046CB02
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (2件)

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