特許
J-GLOBAL ID：200903033878757662
三次元座標測定装置及び方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：
宮川 貞二
, 東野 博文
, 宮川 清
, 松村 博之
, 高橋 和夫
, 内藤 忠雄
, 柴田 茂夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-122714
公開番号（公開出願番号）：特開2004-325355
出願日： 2003年04月25日
公開日（公表日）： 2004年11月18日
要約：
【課題】計測方向によって測定精度が変動する異方性形状計測を用いた三次元形状計測であっても、各測定方向の精度に著しい相違の現れない三次元座標測定装置を提供すること。【解決手段】像形成光学系10により対象物9に投影されるビーム7と対象物9との相対的な入射角度を、対象物9の第1及び第2の中立軸方向に調整して、対象物9について第1及び第2のステレオ画像を形成可能に調整する第1の入射角度調整部21及び第2の入射角度調整部22と、第1及び第2のステレオ画像における第1及び第2の中立軸と略直交する方向を第1及び第2の捜索方向として、測定点に対応する対応点を捜索するマッチング処理部30と、第1及び第2のステレオ画像における測定点と対応点の関係から対象物9の三次元座標データを求める形状測定部34とを備えている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ビームを対象物のヨー軸方向へ略平行投影して、当該対象物の像を形成する像形成光学系と;
前記対象物の姿勢を第1の中立軸方向に調整し、前記ビームと前記対象物との相対的な入射角度を調整して、前記対象物について第1のステレオ画像を形成可能にする第1の入射角度調整部と;
前記第1の入射角度調整部により前記入射角度が調整されて、前記像形成光学系により前記対象物に関して形成された第1のステレオ画像を受け取る第1画像検出部と;
前記対象物の姿勢を面内傾斜軸方向を含んで形成された第2の中立軸方向に調整し、前記ビームと前記対象物との相対的な入射角度を調整して、前記対象物について第2のステレオ画像を形成可能にする第2の入射角度調整部と;
前記第2の入射角度調整部により前記入射角度が調整されて、前記像形成光学系により前記対象物に関して形成された第2のステレオ画像を受け取る第2画像検出部と;
前記第1のステレオ画像における第1の中立軸と略直交する方向を第1の捜索方向として、測定点に対応する対応点を捜索すると共に、前記第2のステレオ画像における第2の中立軸と略直交する方向を第2の捜索方向として、測定点に対応する対応点を捜索するマッチング処理部と;
前記第1及び第2のステレオ画像における測定点と対応点の関係から対象物の三次元座標データを求める形状測定部と;
を備える三次元座標測定装置。
IPC (5件)：
G01B11/24
, G01B11/245
, G01B15/00
, G01B15/04
, H01L21/66
G01B11/24 F
, G01B15/00 B
, G01B15/04
, H01L21/66 J
, G01B11/24 N
2F065AA03
, 2F065AA04
, 2F065BB02
, 2F065BB05
, 2F065CC19
, 2F065DD04
, 2F065DD09
, 2F065EE10
, 2F065FF04
, 2F065FF05
, 2F065FF41
, 2F065JJ03
, 2F065JJ05
, 2F065JJ26
, 2F065QQ24
, 2F065QQ25
, 2F065QQ28
, 2F065QQ31
, 2F065QQ32
, 2F065QQ38
, 2F065QQ42
, 2F065RR09
, 2F065SS02
, 2F067AA53
, 2F067BB04
, 2F067CC17
, 2F067EE04
, 2F067HH06
, 2F067HH13
, 2F067JJ05
, 2F067KK04
, 2F067LL16
, 2F067NN04
, 2F067RR11
, 2F067RR36
, 2F067SS14
, 4M106AA02
, 4M106BA02
, 4M106CA38
, 4M106DB04
, 4M106DB05
, 4M106DB12
, 4M106DB18
, 4M106DJ02
, 4M106DJ15
, 4M106DJ19
, 4M106DJ20
, 4M106DJ21
, 4M106DJ24
