特許
J-GLOBAL ID：200903072553232127
基準テンプレートの製造方法及び当該方法によって製造された基準テンプレート
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮川 貞二 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-062688
公開番号（公開出願番号）：特開2002-270124
出願日： 2001年03月06日
公開日（公表日）： 2002年09月20日
要約：
【要約】【課題】 電子顕微鏡から得られたステレオの検出データを適切に処理して、試料像を正確に精度よく立体観察すると共に、試料の三次元形状計測を行う為に、偏位修正画像を作成するために基準点となる基準マークを有する基準テンプレート及びその製造方法を提供する。【解決手段】 本発明の基準テンプレートの製造方法は、試料ホルダ3に基準テンプレートとなる基準テンプレート基板40bを装着し(S100)、電子線7を基準テンプレート基板40bの基準マーク作成位置に移動して照射し(S104、S106、S108)、電子線検出部4で検出された電子線7に基づいて、基準テンプレート基板40bの基準マークを作成する(S110)工程を有している。
請求項（抜粋）：
電子線を放射する電子線源、前記電子線を試料に照射する電子光学系、前記試料を保持する試料ホルダ、前記試料から出射される電子線を検出する電子線検出部とを有する電子線装置を用いて基準テンプレートを製造する方法であって;前記試料ホルダに前記基準テンプレートとなる基準テンプレート基板を装着し;前記電子線を前記基準テンプレート基板の基準マーク作成位置に移動して照射し;前記電子線検出部で検出された電子線に基づいて、前記基準テンプレート基板の基準マークを作成する;基準テンプレートの製造方法。
IPC (3件)：
H01J 37/20
, G01B 15/00
, G01N 23/225
H01J 37/20 Z
, G01B 15/00 B
, G01N 23/225
2F067AA53
, 2F067HH06
, 2F067HH13
, 2F067JJ05
, 2F067KK04
, 2G001AA03
, 2G001BA07
, 2G001CA03
, 2G001DA02
, 2G001FA06
, 2G001GA01
, 2G001GA06
, 2G001GA13
, 2G001HA01
, 2G001HA07
, 2G001HA09
, 2G001JA01
, 2G001JA02
, 2G001JA03
, 2G001JA08
, 2G001KA20
, 2G001PA12
, 2G001RA06
, 5C001BB07
, 5C001CC04
