特許
J-GLOBAL ID：200903033883739265

ガラスセラミック基板の製造方法

発明者：
藤井 俊一

藤井 俊一 について


出願人/特許権者：
京セラ株式会社

京セラ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-330080
公開番号（公開出願番号）：特開2003-133731
出願日： 2001年10月29日
公開日（公表日）： 2003年05月09日
要約：
【要約】【課題】 ガラスセラミック・グリーンシートの焼結収縮を確実に拘束して、寸法精度が高く、かつガラスセラミック被覆層の絶縁性の劣化がない高信頼性のガラスセラミック基板を得る。【解決手段】 (i)ガラスセラミック・グリーンシート積層体1を作製するとともに、その表面の導体パターン2表面に焼成後の厚みが0.015〜0.1mmとなるようにガラスセラミック被覆層3を形成し、(ii)積層体1の両面にガラスと溶剤とを含む密着剤層を介在させて、難焼結性無機材料とガラスとを含む拘束グリーンシートを積層し、(iii)積層体1から有機成分を除去し、焼成して、拘束シートを保持したガラスセラミック基板を作製し、(iv)基板から拘束シートを除去する工程からなり、(v)密着剤層のガラス含有量が、焼成時に拘束グリーンシートをガラスセラミック・グリーンシートと結合させかつ焼成後に拘束シートとともにガラスセラミック基板から除去される量である。
請求項（抜粋）：
有機バインダを含有し表面に導体パターンが形成されたガラスセラミック・グリーンシートの複数枚を積層してガラスセラミック・グリーンシート積層体を作製するとともに、該ガラスセラミック・グリーンシート積層体の表面の前記導体パターンの表面に焼成後の厚みが0.015〜0.1mmとなるようにガラスセラミック被覆層を形成する工程と、前記ガラスセラミック被覆層が形成されたガラスセラミック・グリーンシート積層体の両面に、ガラスと溶剤とを含む密着剤層を介在させて、難焼結性無機材料と有機バインダとを含む拘束グリーンシートを積層する工程と、前記拘束グリーンシートとガラスセラミック・グリーンシート積層体との積層体から有機成分を除去し、ついで焼成して拘束シートを保持したガラスセラミック基板を作製する工程と、前記ガラスセラミック基板から拘束シートを除去する工程とを含み、前記密着剤層のガラス含有量が、前記焼成時に前記拘束グリーンシートを前記ガラスセラミック被覆層および前記ガラスセラミック・グリーンシートと結合させかつ焼成後に前記拘束シートとともに前記ガラスセラミック被覆層および前記ガラスセラミック基板から除去される量であることを特徴とするガラスセラミック基板の製造方法。
IPC (4件)：
H05K 3/46 ,  H01L 23/13 ,  H01L 23/15 ,  H05K 3/28
FI (4件)：
H05K 3/46 H ,  H05K 3/28 A ,  H01L 23/12 C ,  H01L 23/14 C
Fターム (33件)：
5E314AA01 ,  5E314AA14 ,  5E314AA41 ,  5E314BB01 ,  5E314CC01 ,  5E314FF02 ,  5E314GG11 ,  5E314GG21 ,  5E346AA12 ,  5E346AA15 ,  5E346AA17 ,  5E346AA22 ,  5E346AA32 ,  5E346CC16 ,  5E346CC18 ,  5E346CC32 ,  5E346CC38 ,  5E346CC39 ,  5E346CC46 ,  5E346DD02 ,  5E346DD13 ,  5E346DD34 ,  5E346EE21 ,  5E346EE24 ,  5E346EE27 ,  5E346EE28 ,  5E346EE29 ,  5E346GG06 ,  5E346GG08 ,  5E346GG09 ,  5E346HH08 ,  5E346HH11 ,  5E346HH31
引用特許：
審査官引用 (6件)
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