特許

J-GLOBAL ID：200903033891603631

音叉振動子およびその製造方法

発明者： 樋口 天光 ,  江口 誠
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 布施 行夫 ,  大渕 美千栄 ,  伊奈 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-090254
公開番号（公開出願番号）：特開2007-267109
出願日： 2006年03月29日
公開日（公表日）： 2007年10月11日
要約：

【課題】極めて小型で、例えば数十kHz帯の共振周波数を得ることができる音叉振動子を提供する。【解決手段】音叉振動子100は、基板2と、該基板2の上方に形成された酸化物層3と、該酸化物層の上方に形成された半導体層4と、を有するSOI基板1と、前記半導体層4と前記酸化物層3を加工して形成された、半導体層からなる音叉型の振動部10と、前記振動部10の屈曲振動を生成するための駆動部20と、を含む。振動部10は、支持部12と、該支持部を基端として片持ち梁状に形成された二本のビーム部14a,14bと、を有し、駆動部20は、前記二本のビーム部14a、14bの上方にそれぞれ1対づつ形成され、一つの駆動部20は、第1電極層22と、該第1電極層22の上方に形成された圧電体層24と、該圧電体層24の上方に形成された第2電極層26とを有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板と、該基板の上方に形成された酸化物層と、該酸化物層の上方に形成された半導体層と、を有するSOI基板と、 前記半導体層と前記酸化物層を加工して形成された、半導体層からなる音叉型の振動部と、 前記振動部の屈曲振動を生成するための駆動部と、 を含み、 前記振動部は、支持部と、該支持部を基端として片持ち梁状に形成された二本のビーム部と、を有し、 前記駆動部は、前記二本のビーム部の上方にそれぞれ1対づつ形成され、一つの駆動部は、第1電極層と、該第1電極層の上方に形成された圧電体層と、該圧電体層の上方に形成された第2電極層とを有する、音叉振動子。

IPC (6件)：

H03H 9/17 ,  H03H 3/02 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22

FI (7件)：

H03H9/17 F ,  H03H9/17 E ,  H03H3/02 B ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 D ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/22 Z

Fターム (14件)：

5J108BB01 ,  5J108CC04 ,  5J108CC11 ,  5J108DD05 ,  5J108EE03 ,  5J108EE06 ,  5J108EE07 ,  5J108KK01 ,  5J108KK02 ,  5J108KK03 ,  5J108KK07 ,  5J108MM04 ,  5J108MM11 ,  5J108MM14

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 振動型ジャイロセンサ素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-105885   出願人：ソニー株式会社
• 角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-055957   出願人：松下電器産業株式会社

審査官引用 (2件)

• 音叉型圧電振動ジャイロ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-211466   出願人：NECトーキン株式会社
• 音叉型水晶振動子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-001220   出願人：セイコーエプソン株式会社