音叉型圧電振動ジャイロ装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-211466
公開番号（公開出願番号）：特開2006-030062
出願日： 2004年07月20日
公開日（公表日）： 2006年02月02日
要約：

【課題】加工精度がよく、量産性に優れ、且つ、特性のばらつきが少なく、その上、小型の音叉型圧電振動ジャイロ装置を提供する。【解決手段】シリコン支持層6上に埋め込み酸化膜層5、シリコン活性層13を順に設けたSOI基板と、シリコン活性層13上に接合された圧電単結晶14とからなり、圧電単結晶14、シリコン活性層13及び埋め込み酸化膜層5の一部を除去して形成され、埋め込み酸化膜層5を介してシリコン支持層6に支持された、2つの脚部2,3を有し、圧電単結晶14とシリコン活性層13とからなる音叉型圧電振動子15と、この圧電単結晶14上に形成された駆動電極8,10、検出電極7,11及び基準電位電極9と、シリコン活性層13上の圧電単結晶14が接合されていない部分に形成された信号処理回路12とで構成する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

シリコン支持層上に埋め込み酸化膜層、シリコン活性層を順に設けたSOI基板と、前記シリコン活性層上に接合された圧電単結晶とからなる音叉型圧電振動ジャイロ装置であって、前記圧電単結晶、前記シリコン活性層及び前記埋め込み酸化膜層の一部を除去して形成され、前記埋め込み酸化膜層を介して前記シリコン支持層に支持された、少なくとも2つ以上の脚部を有し、前記圧電単結晶と前記シリコン活性層とからなる音叉型圧電振動子と、前記圧電単結晶上に形成された駆動電極、検出電極及び基準電位電極と、前記シリコン活性層上の前記圧電単結晶が接合されていない部分に形成された信号処理回路とから構成され、前記信号処理回路は、前記圧電振動子を励振させるための駆動信号を前記圧電振動子に供給する機能と、角速度が与えられた場合に発生するコリオリ力に起因する前記圧電振動子の検出振動に応じる出力信号を信号処理する機能とを有することを特徴とする音叉型圧電振動ジャイロ装置。

IPC (4件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 41/08 , H01L 41/18

FI (4件)：

G01C19/56 , G01P9/04 , H01L41/08 Z , H01L41/18 101A

Fターム (8件)：

2F105AA01 , 2F105AA08 , 2F105BB11 , 2F105CC01 , 2F105CD02 , 2F105CD06 , 2F105CD11 , 2F105CD13

引用特許：

出願人引用 (3件)

薄膜微小機械式共振子、薄膜微小機械式共振子ジャイロ、この薄膜微小機械式共振子ジャイロを用いたナビゲーションシステム及び自動車
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-300116 出願人：松下電器産業株式会社
圧電体薄膜形成方法、及び圧電体薄膜の応用デバイス
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-128481 出願人：松下電器産業株式会社
音叉型圧電振動子
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-371198 出願人：セイコーエプソン株式会社

審査官引用 (4件)

圧電振動ジャイロ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-280816 出願人：株式会社トーキン
角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-304820 出願人：日産自動車株式会社
角速度検出センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-057234 出願人：株式会社日立製作所

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