特許
J-GLOBAL ID:200903033935534624

照射サンプルの特性寸法の光学的取得方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 松田 省躬
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-296999
公開番号(公開出願番号):特開2003-185582
出願日: 2002年10月10日
公開日(公表日): 2003年07月03日
要約:
【要約】【課題】ライン検出器を有する蛍光色素の効率的な、スペクトルにより分析される検出のために斬新な方法【解決手段】スペクトル分解能は個別チャネルの数によって測定される。検出器の個別チャネルがすべて同時に読取られるとは限らない場合、個別チャネルの一連の読取りが多重化により従来技術に従って実行される。多重化が試料のスキャンの間の画素滞留時間中に実行される。これには信号が検出される間の個別チャネル当たりの積分時間が多重位置の数だけ低減されるという欠点がある。さらに、広域蛍光スペクトルが測定される場合、信号が読取られない個別チャネルで失われる。別の多重化方法では、個別チャネルの信号が緩和される。次に、個別記憶装置が交互に読取られる。ただし、新しいデータは読取り中記録されない。従って、ライン検出器の読取り速度がこの形式の多重化で低減されることになる。
請求項(抜粋):
試料から後方散乱され、反射されおよび/または蛍光が発せられ、および/または伝導される信号が、試料からの放射がスペクトルにより分離されるように検出器に結像される状態で複数チャネルの空間分解検出器によって検出され、検出チャネルの結合が、読取られてさらに処理される測定値数が検出チャネル数より少ないように行われることを特徴とする照射試料の特性量の光学的取得方法。
IPC (4件):
G01N 21/64 ,  G01J 3/36 ,  G01J 3/443 ,  G01N 13/14
FI (4件):
G01N 21/64 E ,  G01J 3/36 ,  G01J 3/443 ,  G01N 13/14 A
Fターム (34件):
2G020AA04 ,  2G020CA01 ,  2G020CB04 ,  2G020CB23 ,  2G020CC02 ,  2G020CC07 ,  2G020CC13 ,  2G020CC26 ,  2G020CC28 ,  2G020CC30 ,  2G020CC47 ,  2G020CC55 ,  2G020CC63 ,  2G020CD03 ,  2G020CD06 ,  2G020CD14 ,  2G020CD23 ,  2G043AA01 ,  2G043CA04 ,  2G043EA01 ,  2G043FA02 ,  2G043FA06 ,  2G043GA01 ,  2G043GB01 ,  2G043HA01 ,  2G043HA02 ,  2G043HA05 ,  2G043HA09 ,  2G043JA03 ,  2G043JA04 ,  2G043KA02 ,  2G043KA05 ,  2G043LA02 ,  2G043NA05
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 分光器
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-326541   出願人:株式会社東京インスツルメンツ
  • 分光器
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平5-020408   出願人:セイコー電子工業株式会社
  • 特開平2-275326
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