レジスト吐出装置及びレジスト吐出方法

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：伊東忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-065295
公開番号（公開出願番号）：特開平7-273011
出願日： 1994年04月01日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：

【要約】【目的】本発明はフォトレジスト吐出装置に関し、保守の容易化を実現することを目的とする。【構成】フォトレジストを貯留するメインタンク20と、一回に吐出するフォトレジストの量の容積を有し、メインタンク20の下側の位置に設けられた吐出用タンク22とを有する。一旦、吐出用タンク22内に貯留されたフォトレジストが吐出される。更にメインタンク20より吐出用タンク22へのフォトレジストの重力による供給の開始と終了とを制御する切換弁30と、吐出用タンク22からのフォトレジストの吐出の開始と終了を制御する切換弁32,33を有して構成する。

請求項（抜粋）：

レジストを貯留するメインタンク(20)と、一回に吐出するレジストの量を貯留する容積を有し、上記メインタンク(20)より低い位置に配してあり、配管を通して上記メインタンク(20)と接続してあり、上記メインタンクより供給されたレジストを貯留する吐出用タンク(22)と、上記メインタンクより該吐出用タンクへのレジストの供給開始及び供給停止を制御する手段(30)と、上記吐出用タンク(22)内のレジストの吐出開始及び吐出停止を制御する手段(32,33)とを有する構成としたことを特徴とするレジスト吐出装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , B05C 5/00 101 , G03F 7/16 502 , B05C 11/08

引用特許：

審査官引用 (6件)

処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-129925 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社, 株式会社東芝
塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-003039 出願人：東京エレクトロン株式会社, 株式会社東芝
特開平1-168376

全件表示

前のページに戻る