特許

J-GLOBAL ID：200903034176285424

ウエハ支持体およびそれを用いた熱処理用ボート

発明者： 山本 久男 ,  古川 耕二 ,  斎藤 文明
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (1件)： 角田 衛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-247861
公開番号（公開出願番号）：特開2003-059851
出願日： 2001年08月17日
公開日（公表日）： 2003年02月28日
要約：

【要約】【課題】200mm以上、特には300mm以上の直径を有するウエハに対してもスリップや傷などの表面欠陥が発生しないウエハ支持体およびそれを用いた熱処理用ボートを提供する。【解決手段】上面平坦部を有するリング形状または馬蹄形状のウエハ支持体であって、リング形状または馬蹄形状の内周上面コーナーが面取り部の幅が0.1〜4mmとなるように面取りされており、かつ該面取り部および上面平坦部の表面粗さRyが5μm以下であることを特徴とするウエハ支持体およびそれを用いた熱処理用ボート。

請求項（抜粋）：

上面平坦部を有するリング形状または馬蹄形状のウエハ支持体であって、リング形状または馬蹄形状の内周上面コーナーが面取り部の幅が0.1〜4mmとなるように面取りされており、かつ該面取り部および上面平坦部の表面粗さRyが5μm以下であることを特徴とするウエハ支持体。

IPC (3件)：

H01L 21/22 511 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

H01L 21/22 511 G ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/68 N

Fターム (14件)：

5F031CA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA05 ,  5F031HA09 ,  5F031HA42 ,  5F031HA65 ,  5F031PA11 ,  5F031PA14 ,  5F031PA18 ,  5F045AA03 ,  5F045BB13 ,  5F045DP19 ,  5F045EM08 ,  5F045EM09

引用特許：

審査官引用 (4件)

• ウェハ支持体及び縦型ボート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-129716   出願人：住友金属工業株式会社
• ウェーハ支持装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-093224   出願人：住友シチックス株式会社
• ウエーハ支持装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-356900   出願人：株式会社テクニスコ
• 熱処理用ボート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-059742   出願人：株式会社東芝