特許
J-GLOBAL ID:200903034213299635

信頼性の改善のためにEEPROMの消去中に減じられた一定の電界を提供するための方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 深見 久郎 (外5名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-545318
公開番号(公開出願番号):特表2003-517176
出願日: 2000年12月05日
公開日(公表日): 2003年05月20日
要約:
【要約】多数のメモリセルからなるメモリデバイスを消去する間のピーク電界を減じるための方法である。消去中のメモリセルの電界Efieldは、式Efield〜ag(Vgate-Vth)+Vtuv+(as-1)Vsourceによって決定され、Vgate-Vthが消去手順の間一定になるように、消去されているセルのゲートに異なるゲート電圧Vgateが印加される。
請求項(抜粋):
多数のメモリセルからなりその各々がソースとコントロールゲートとを有するメモリデバイスの消去手順の間にピーク電界を減じるための方法であって、電界Efieldは、式Efield〜ag(Vgate-Vth+Vtuv)+(as-1)Vsourceによって決定され、前記方法は、 (a) 消去されるべきセルのソースに電圧Vsourceを印加するステップと、 (b) 消去されるべきセルのコントロールゲートに異なる電圧Vgateを印加するステップとを含み、Vgate-Vthは消去手順の間一定である、方法。
IPC (5件):
G11C 16/02 ,  H01L 21/8247 ,  H01L 27/115 ,  H01L 29/788 ,  H01L 29/792
FI (4件):
G11C 17/00 612 E ,  H01L 27/10 434 ,  H01L 29/78 371 ,  G11C 17/00 601 Z
Fターム (23件):
5B025AA01 ,  5B025AB01 ,  5B025AD08 ,  5B025AD09 ,  5B025AE08 ,  5F083EP02 ,  5F083EP23 ,  5F083EP68 ,  5F083EP77 ,  5F083ER02 ,  5F083ER14 ,  5F083ER16 ,  5F083ER19 ,  5F083ER22 ,  5F083ER29 ,  5F083GA21 ,  5F101BA01 ,  5F101BB05 ,  5F101BC11 ,  5F101BD36 ,  5F101BE02 ,  5F101BE05 ,  5F101BE07
引用特許:
審査官引用 (4件)
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