特許
J-GLOBAL ID:200903034213299635
信頼性の改善のためにEEPROMの消去中に減じられた一定の電界を提供するための方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
深見 久郎 (外5名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-545318
公開番号(公開出願番号):特表2003-517176
出願日: 2000年12月05日
公開日(公表日): 2003年05月20日
要約:
【要約】多数のメモリセルからなるメモリデバイスを消去する間のピーク電界を減じるための方法である。消去中のメモリセルの電界Efieldは、式Efield〜ag(Vgate-Vth)+Vtuv+(as-1)Vsourceによって決定され、Vgate-Vthが消去手順の間一定になるように、消去されているセルのゲートに異なるゲート電圧Vgateが印加される。
請求項(抜粋):
多数のメモリセルからなりその各々がソースとコントロールゲートとを有するメモリデバイスの消去手順の間にピーク電界を減じるための方法であって、電界Efieldは、式Efield〜ag(Vgate-Vth+Vtuv)+(as-1)Vsourceによって決定され、前記方法は、 (a) 消去されるべきセルのソースに電圧Vsourceを印加するステップと、 (b) 消去されるべきセルのコントロールゲートに異なる電圧Vgateを印加するステップとを含み、Vgate-Vthは消去手順の間一定である、方法。
IPC (5件):
G11C 16/02
, H01L 21/8247
, H01L 27/115
, H01L 29/788
, H01L 29/792
FI (4件):
G11C 17/00 612 E
, H01L 27/10 434
, H01L 29/78 371
, G11C 17/00 601 Z
Fターム (23件):
5B025AA01
, 5B025AB01
, 5B025AD08
, 5B025AD09
, 5B025AE08
, 5F083EP02
, 5F083EP23
, 5F083EP68
, 5F083EP77
, 5F083ER02
, 5F083ER14
, 5F083ER16
, 5F083ER19
, 5F083ER22
, 5F083ER29
, 5F083GA21
, 5F101BA01
, 5F101BB05
, 5F101BC11
, 5F101BD36
, 5F101BE02
, 5F101BE05
, 5F101BE07
引用特許: