複合硬質炭素膜及びその製造方法並びに摺動部材

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：大川宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-173168
公開番号（公開出願番号）：特開2009-013192
出願日： 2007年06月29日
公開日（公表日）： 2009年01月22日
要約：

【課題】窒化炭素膜の摩擦初期におけるなじみ特性を良好にして、摩擦初期の極力早い段階から超低摩擦状態を達成する。【解決手段】本発明に係る複合硬質炭素膜20は、基材10上に形成された窒化炭素膜21と、この窒化炭素膜21上に形成されたカーボンコーティング膜22とから構成されている。カーボンコーティング膜22の膜厚は1〜500nmであることが好ましく、2〜4nmであることがより好ましい。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基材上に形成された窒化炭素膜と、前記窒化炭素膜上に形成されたカーボンコーティング膜と、を備えていることを特徴とする複合硬質炭素膜。

IPC (1件)：

C10M 103/02

FI (2件)：

C10M103/02 , C10M103/02 Z

Fターム (7件)：

4H104AA04A , 4H104AA17A , 4H104EA01Z , 4H104LA03 , 4H104PA01 , 4H104PA41 , 4H104QA15

引用特許：

出願人引用 (1件)

摺動装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-256094 出願人：オイレス工業株式会社, 梅原徳次

審査官引用 (2件)

摺動装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-256094 出願人：オイレス工業株式会社, 梅原徳次
耐摩耗性部材およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-178080 出願人：三菱重工業株式会社

引用文献：

審査官引用 (3件)

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