特許
J-GLOBAL ID：200903034326337460

基板吸着装置

発明者：
甘田 晶

甘田 晶 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (1件)： 石川 泰男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-094524
公開番号（公開出願番号）：特開2003-297911
出願日： 2002年03月29日
公開日（公表日）： 2003年10月17日
要約：
【要約】【課題】 プレート上から基板を剥離する際に、静電気による剥離帯電が生じることがない基板吸着装置を提供することを目的とする。【解決手段】 表面に吸引孔と加湿空気噴出孔とが設けられ、前記表面で基を吸着固定する吸着プレートと、前記吸引孔から空気を吸引することにより基板を吸着プレート表面で真空吸着するために用いる真空形成手段と、前記吸着プレート表面に固定された基板を剥離する際に当該加湿空気噴出孔から加湿空気を噴出するために用いる加湿空気発生手段と、を備えていることを特徴とする基板吸着装置とする。
請求項（抜粋）：
表面に吸引孔と加湿空気噴出孔とが設けられ、前記表面で基を吸着固定する吸着プレートと、前記吸引孔から空気を吸引することにより基板を吸着プレート表面で真空吸着するために用いる真空形成手段と、前記吸着プレート表面に固定された基板を剥離する際に当該加湿空気噴出孔から加湿空気を噴出するために用いる加湿空気発生手段と、を備えていることを特徴とする基板吸着装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68 ,  B23Q 3/08 ,  F24F 6/00 ,  F24F 6/14
FI (6件)：
H01L 21/68 P ,  B23Q 3/08 A ,  F24F 6/00 B ,  F24F 6/00 E ,  F24F 6/00 Z ,  F24F 6/14
Fターム (18件)：
3C016DA01 ,  3L055AA10 ,  3L055BB01 ,  3L055DA06 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA04 ,  5F031HA13 ,  5F031HA14 ,  5F031HA32 ,  5F031HA34 ,  5F031NA02 ,  5F031NA03 ,  5F031PA18 ,  5F031PA21
引用特許：
審査官引用 (11件)
  • 基板処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-350220   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
  • 被処理体の離脱方法および静電チャック装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-091889   出願人：山口日本電気株式会社
  • 特開平4-003836
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM