特許

J-GLOBAL ID：200903034334209145

直動装置

発明者： 斉藤 剛 ,  山本 豊寿 ,  並松 健
出願人/特許権者： 日本精工株式会社
代理人 (1件)： 萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-237132
公開番号（公開出願番号）：特開平10-325414
出願日： 1997年09月02日
公開日（公表日）： 1998年12月08日
要約：

【要約】【課題】 半導体製造装置や液晶パネル製造装置、食品加工装置等の清浄な雰囲気を必要とする環境下等において好適に使用でき、また、真空、高温、腐食性雰囲気環境下においても使用することができ、装置から発生する塵埃が少ない直動装置を提供する。【解決手段】 一方の移動部材と他方の移動部材とが、それぞれの案内面に接する転動体を介して相対的に直線移動する装置において、前記両移動部材または転動体の少なくとも一つが、その表面に無電解ニッケル被膜を介してフッ素樹脂被膜が成膜されている、もしくは更に無電解ニッケル被膜にフッ素樹脂からなる粒子が含浸されている直動装置。

請求項（抜粋）：

一方の移動部材と他方の移動部材とが、それぞれの案内面に接する転動体を介して相対的に直線移動する装置において、前記両移動部材または転動体の少なくとも一つが、その表面に無電解ニッケル被膜を介してフッ素樹脂被膜が成膜されていることを特徴とする直動装置。

IPC (4件)：

F16C 29/04 ,  F16C 29/06 ,  F16C 33/10 ,  F16C 33/24

FI (4件)：

F16C 29/04 ,  F16C 29/06 ,  F16C 33/10 D ,  F16C 33/24 A

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 半導体製造設備用直線運動案内装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-192237   出願人：エヌテイエヌ株式会社
• 固体潤滑転がり軸受
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-275014   出願人：日本精工株式会社
• 直動型軸受および直動型軸受の潤滑薄膜形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-045399   出願人：光洋精工株式会社