特許
J-GLOBAL ID：200903034407635407
電気的固体装置及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-229444
公開番号（公開出願番号）：特開平10-064907
出願日： 1996年08月13日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：
【要約】【課題】 導電体薄膜の高配向化と大粒径化とを両立させることが可能な電気的固体装置の製造方法を提供する。【解決手段】 溝部や開孔部等の凹部32を有する下地上に形成された非晶質薄膜33と、この非晶質薄膜33上に形成された導電体薄膜34a及び34bとを備え、非晶質薄膜33の回折測定において現れるハローパターンのピーク位置から求められる原子間距離と、導電体薄膜34a及び34bを構成する材料の少なくとも面内の一方向に第1隣接原子間距離にある原子列を含むことにより規定される特定結晶面の面間隔とが略整合し、かつ、導電体薄膜34aよりも34bの方を高い温度で形成する。
請求項（抜粋）：
溝部や開孔部等の凹部を有する下地上に形成された非晶質薄膜と、この非晶質薄膜上に形成された導電体薄膜とを備え、上記非晶質薄膜の回折測定において現れるハローパターンのピーク位置から求められる原子間距離と、上記導電体薄膜を構成する材料の少なくとも面内の一方向に第1隣接原子間距離にある原子列を含むことにより規定される特定結晶面の面間隔とが略整合していることを特徴とする電気的固体装置。
IPC (3件)：
H01L 21/3205
, H01L 21/285
, H01L 21/203
H01L 21/88 B
, H01L 21/285 S
, H01L 21/203 S
