特許
J-GLOBAL ID：200903034441697691
ウエハテスト用プロ-ブカ-ド
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮田 金雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-018216
公開番号（公開出願番号）：特開2000-214182
出願日： 1999年01月27日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
要約：
【要約】【課題】 垂直式のプローブカードにおいて、テストパットとの安定した電気的接触が得られるプローブカードを提供する。【解決手段】 基板2に対してほぼ垂直に取り付けられたプローブ針1の先端部分1aを半導体ウエハ100の電極パッド100aに押圧し、先端部分1aとパッド100aを電気的接触させて、半導体ウエハ100の動作をテストするウエハテスト用プローブカードにおいて、プローブ針1は、プローブ針1の根元側部分1bと先端部分1aとをそれぞれ案内板3、4により保持するとともに、案内板3で保持されている先端部分1aの直径に比べて、プローブ針1の根元側部分1bと中央部1cの直径を細く構成する。
請求項（抜粋）：
基板に対してほぼ垂直に取り付けられたプローブ針の先端部分を半導体ウエハの電極パッドに押圧し、上記先端部分と上記パッドを電気的接触させて、上記半導体ウエハの動作をテストするウエハテスト用プローブカードにおいて、上記プローブ針は、上記プローブ針の根元側部分と先端部分とをそれぞれ案内板により保持するとともに、上記案内板で保持されている上記先端部分の直径に比べて、少なくとも上記根元側部分と上記先端部分との間にある中央部の直径を細く構成したことを特徴とするウエハテスト用プローブカード。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 1/073 D
, H01L 21/66 B
2G011AA03
, 2G011AA17
, 2G011AB06
, 2G011AB07
, 2G011AB08
, 2G011AC01
, 2G011AC14
, 2G011AE03
, 4M106AA01
, 4M106AA02
, 4M106BA01
, 4M106BA14
, 4M106DD03
, 4M106DD04
, 4M106DD06
, 4M106DD10
, 4M106DD30
