特許
J-GLOBAL ID：200903034504466962

フッ素ゴムシール材

発明者：
前田 一之助

前田 一之助 について


出願人/特許権者：
日本バルカー工業株式会社

日本バルカー工業株式会社 について


代理人 (4件)： 鈴木 俊一郎 ,  牧村 浩次 ,  高畑 ちより ,  鈴木 亨
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-168630
公開番号（公開出願番号）：特開2006-342241
出願日： 2005年06月08日
公開日（公表日）： 2006年12月21日
要約：
【解決手段】 (a)架橋性フッ素ゴムと、該ゴム(a)100重量部に対して、(b)2価パーフロロポリエーテル構造または2価パーフロロアルキレン構造を有し、末端あるいは側鎖に少なくとも有機珪素化合物(c)中のヒドロシリル基と付加反応可能なアルケニル基を2個以上有する反応性フッ素系化合物(架橋性フッ素ゴム(a)を除く)と、(c)分子中に2個以上のヒドロシリル基を有し、上記化合物(b)中のアルケニル基と付加反応可能な反応性有機珪素化合物とを合計で1〜10重量部の量で含有し、さらに、共架橋剤(d)とを含むゴム組成物、及び該組成物を必要により加熱、加圧して予備成形し、次いで、予備成形体を放射線架橋してなるフッ素ゴムシール材。【効果】 特に半導体製造プロセスなどで、高温下で長時間継続的に使用してもクラックが発生し難く、耐プラズマ性に優れたプラズマ処理装置用シール材が提供される。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(a) 架橋性フッ素ゴムと、 該架橋性フッ素ゴム100重量部に対して、 (b) 2価パーフロロポリエーテル構造または2価パーフロロアルキレン構造を有し、末端あるいは側鎖に少なくとも有機珪素化合物(c)中のヒドロシリル基と付加反応可能なアルケニル基を2個以上有する反応性フッ素系化合物[架橋性フッ素ゴム(a)を除く。]と、 (c) 分子中に2個以上のヒドロシリル基を有し少なくとも前記反応性フッ素系化合物(b)中のアルケニル基と付加反応可能な反応性有機珪素化合物とを合計[(b)+(c)]で1〜10重量部の量で含有し、さらに、 (d)共架橋剤とを含むゴム組成物に、放射線処理してなるフッ素ゴムシール材。
IPC (6件)：
C08J 3/28 ,  C08K 5/02 ,  C08K 5/06 ,  C08K 5/541 ,  C08L 27/12 ,  C09K 3/10
FI (7件)：
C08J3/28 ,  C08K5/02 ,  C08K5/06 ,  C08K5/5415 ,  C08L27/12 ,  C09K3/10 G ,  C09K3/10 M
Fターム (45件)：
4F070HA01 ,  4F070HA03 ,  4F070HA04 ,  4F070HA05 ,  4F070HA09 ,  4F070HB01 ,  4F070HB02 ,  4F070HB08 ,  4H017AA03 ,  4H017AA24 ,  4H017AA27 ,  4H017AA29 ,  4H017AB12 ,  4H017AB15 ,  4H017AB17 ,  4H017AC02 ,  4H017AC03 ,  4H017AC07 ,  4H017AC15 ,  4H017AE05 ,  4J002BD121 ,  4J002BD141 ,  4J002BD151 ,  4J002BD161 ,  4J002EB066 ,  4J002ED046 ,  4J002ED076 ,  4J002EH048 ,  4J002EH078 ,  4J002EP016 ,  4J002EP026 ,  4J002EP028 ,  4J002EU096 ,  4J002EU108 ,  4J002EU188 ,  4J002EU198 ,  4J002EV266 ,  4J002EX026 ,  4J002EX036 ,  4J002EX037 ,  4J002FD010 ,  4J002FD146 ,  4J002FD147 ,  4J002FD148 ,  4J002GJ02
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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