特許

J-GLOBAL ID：200903058064899779

耐プラズマ性フッ素系エラストマーシール材

発明者： 森本 和樹 ,  中野 光行 ,  西本 一夫
出願人/特許権者： ニチアス株式会社
代理人 (1件)： 小栗 昌平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-095254
公開番号（公開出願番号）：特開2003-183402
出願日： 2002年03月29日
公開日（公表日）： 2003年07月03日
要約：

【要約】【課題】 耐酸素プラズマ性と石英への非固着性とを両立し、加えてマイクロ波を利用した装置への適用が可能な低い比誘電率及び誘電正接のエラストマーシール材を提供する。【解決手段】 主鎖に2価パーフロロポリエーテルまたは2価パーフロロアルキレン構造を有し、末端あるいは側鎖にヒドロシリル基と付加反応可能なアルケニル基を2個以上有するフッ素系エラストマーが、分子中に2個以上のヒドロシリル基を有し前記アルケニル基と付加反応可能なポリマーにより架橋されていることを特徴とする耐プラズマ性フッ素系エラストマーシール材。

請求項（抜粋）：

主鎖に2価パーフロロポリエーテルまたは2価パーフロロアルキレン構造を有し、末端あるいは側鎖にヒドロシリル基と付加反応可能なアルケニル基を2個以上有するフッ素系エラストマーが、分子中に2個以上のヒドロシリル基を有し前記アルケニル基と付加反応可能なポリマーにより架橋されていることを特徴とする耐プラズマ性フッ素系エラストマーシール材。

IPC (2件)：

C08G 81/00 ,  F16J 15/10

FI (3件)：

C08G 81/00 ,  F16J 15/10 C ,  F16J 15/10 G

Fターム (13件)：

3J040BA02 ,  3J040EA16 ,  3J040FA07 ,  3J040HA06 ,  3J040HA21 ,  4J031AA14 ,  4J031AA16 ,  4J031AA59 ,  4J031AB01 ,  4J031AB06 ,  4J031AC13 ,  4J031AD01 ,  4J031AF13

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 静電チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-323581   出願人：信越化学工業株式会社
• フッ素ゴム成型品用金型及びフッ素ゴム成型品の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-122400   出願人：信越化学工業株式会社
• ゴム硬化物及びゴム硬化物の処理法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-030720   出願人：信越化学工業株式会社
• 硬化性組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-027296   出願人：信越化学工業株式会社