特許
J-GLOBAL ID：200903034528768803
窒化アルミニウム薄膜及びそれを用いた圧電薄膜共振子
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-106549
公開番号（公開出願番号）：特開2004-312611
出願日： 2003年04月10日
公開日（公表日）： 2004年11月04日
要約：
【課題】電気機械結合係数が大きく、音響的品質係数(Q値)に優れ、帯域幅、挿入損失などの特性面での向上に有利な圧電薄膜共振子を提供する。【解決手段】基板12のビアホール20に面する位置にて、酸化シリコンまたは窒化シリコンを主成分とする誘電体膜からなる絶縁体層13、下部電極15、圧電体薄膜16および上部電極17がこの順に積層された圧電積層構造体14を備える。圧電体薄膜16は、c軸配向を示す厚さ0.5〜3.0μmの窒化アルミニウム薄膜であって、(0002)回折ピークのロッキング・カーブ半値幅(FWHM)が3.0 ゚以下である。下部電極15は、タンタルを主成分とする厚さ2000nm未満の金属薄膜であって、そのX線回折ピークにおいて、正方晶β相の(002)回折ピークのピーク強度Iβと立方晶α相の(110)回折ピークのピーク強度Iαとの強度比Iα/Iβが0.1以下である。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
タンタルを主成分とする厚さ2000nm未満の金属薄膜の表面上に形成されたc軸配向を示す窒化アルミニウム薄膜であって、(0002)回折ピークのロッキング・カーブ半値幅(FWHM)が3.0 ゚以下であることを特徴とする窒化アルミニウム薄膜。
IPC (3件)：
H03H9/17
, H01L41/09
, H01L41/18
H03H9/17 F
, H03H9/17 Z
, H01L41/08 C
, H01L41/18 101Z
5J108AA00
, 5J108BB08
, 5J108CC04
, 5J108CC11
, 5J108KK07
