特許
J-GLOBAL ID：200903034694343195

搬送装置およびこれを備えた真空処理装置

発明者：
笹川 英四郎

笹川 英四郎 について

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宮園 直之

宮園 直之 について

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中島 洋一郎

中島 洋一郎 について

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西野 宏

西野 宏 について


出願人/特許権者：
三菱重工業株式会社

三菱重工業株式会社 について


代理人 (2件)： 藤田 考晴 ,  田中 重光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-085611
公開番号（公開出願番号）：特開2004-296672
出願日： 2003年03月26日
公開日（公表日）： 2004年10月21日
要約：
【課題】搬送装置を高速で移動させることができ、それによりタクトタイムを短縮することのできる搬送装置を提供することを目的とする。【解決手段】搬送台車に配設された保持機構20が、被処理基板Kを斜めに支持する複数本の支柱22と、支柱22に設けられ、被処理基板Kの上辺の周縁部が差し込まれる下向き凹部30’を有する上部基板支持爪30、および被処理基板Kを下側から持ち上げるように支持する上向き凹部29’を有する下部基板支持爪29と、上部基板支持爪30および下部基板支持爪29の少なくとも一方を被処理基板Kの周縁部より離隔・開放する方向若しくは被処理基板Kの周縁部へ接近・把持する方向に移動させるリンク機構と、外部駆動手段より駆動力を伝えてリンク機構を操作する操作手段40とを具備する搬送装置10において、下部基板支持爪29は、減衰手段28を介してリンク27に連結されている。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
被処理基板を処理するための真空処理装置内において前記被処理基板を搬送する搬送装置であって、前記真空処理装置内を走行する搬送台車と、前記被処理基板を保持するため、前記搬送台車に配設された保持機構とを備え、 前記保持機構は、前記被処理基板を斜めに支持する複数本の支柱と、 前記支柱に設けられ、前記被処理基板の上辺の周縁部が差し込まれる下向き凹部を有する上部基板支持爪、および前記被処理基板を下側から持ち上げるように支持する上向き凹部を有する下部基板支持爪と、 前記上部基板支持爪および下部基板支持爪の少なくとも一方を前記被処理基板の周縁部より離隔・開放する方向若しくは前記被処理基板の周縁部へ接近・把持する方向に移動させるリンク機構と、 外部駆動手段より駆動力を伝えて前記リンク機構を操作する操作手段と、を具備する搬送装置において、 前記下部基板支持爪は、減衰手段を介して前記リンク機構に連結されていることを特徴とする搬送装置。
IPC (6件)：
H01L21/68 ,  B65G49/06 ,  C23C16/44 ,  H01L21/203 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065
FI (6件)：
H01L21/68 A ,  B65G49/06 Z ,  C23C16/44 F ,  H01L21/203 S ,  H01L21/205 ,  H01L21/302 101G
Fターム (30件)：
4K030GA12 ,  4K030KA41 ,  5F004AA06 ,  5F004BC06 ,  5F004BD04 ,  5F004BD05 ,  5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031FA14 ,  5F031FA18 ,  5F031GA54 ,  5F031GA58 ,  5F031LA14 ,  5F031LA16 ,  5F031MA04 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031MA32 ,  5F031NA05 ,  5F031NA07 ,  5F031PA20 ,  5F045AA08 ,  5F045BB20 ,  5F045CA13 ,  5F045EN04 ,  5F103AA08 ,  5F103LL04 ,  5F103RR04
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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