特許
J-GLOBAL ID：200903034703725349
有機薄膜形成装置および方法
発明者：
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出願人/特許権者：
,
代理人 (8件)：
岡部 正夫
, 加藤 伸晃
, 産形 和央
, 臼井 伸一
, 越智 隆夫
, 本宮 照久
, 朝日 伸光
, 三山 勝巳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-195226
公開番号（公開出願番号）：特開2006-016660
出願日： 2004年07月01日
公開日（公表日）： 2006年01月19日
要約：
【課題】単純な動作機構により所望の膜厚および膜組成をもつ有機薄膜機能素子を精度よく形成することが可能な有機膜の膜厚制御を実現する装置を提供する。【解決手段】構造体の有機薄膜中のドーピング濃度を測定する測定装置であって、少なくとも成膜中に構造体に少なくとも励起光を含む波長範囲の照射光を投光する光源、照射光に対する該構造体からの少なくとも蛍光を受光し、構造体の蛍光強度を得る検出手段、有機薄膜の厚さ及び該蛍光強度に基づいて有機膜にドープされたドーピング材料の濃度を測定する濃度測定手段からなる構成とした。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
構造体の有機薄膜中のドーピング濃度を測定する測定装置であって、
少なくとも成膜中に該構造体に少なくとも励起光を含む波長範囲の照射光を投光する光源、
該照射光に対する該構造体からの少なくとも蛍光を受光し、該構造体の蛍光強度を得る検出手段、
該有機薄膜の厚さ及び該蛍光強度に基づいて該有機膜にドープされたドーピング材料の濃度を測定する濃度測定手段からなる測定装置。
IPC (3件)：
C23C 14/54
, G01B 11/06
, G01N 21/64
C23C14/54 E
, C23C14/54 F
, G01B11/06 Z
, G01N21/64 Z
2F065AA30
, 2F065BB17
, 2F065CC25
, 2F065CC31
, 2F065FF44
, 2F065LL02
, 2G043AA01
, 2G043BA14
, 2G043CA07
, 2G043EA01
, 2G043FA06
, 2G043GA02
, 2G043GA04
, 2G043GB01
, 2G043HA01
, 2G043HA05
, 2G043JA01
, 2G043JA02
, 2G043KA02
, 2G043KA03
, 2G043KA05
, 2G043NA01
, 3K007AB18
, 3K007DB03
, 3K007FA01
, 4K029AA09
, 4K029BA62
, 4K029BC03
, 4K029BC07
, 4K029CA01
, 4K029DB06
, 4K029DB18
, 4K029EA01
, 4K029EA02
