特許
J-GLOBAL ID：200903034704060383

半導体装置

発明者：
田中 正幸

田中 正幸 について

, 
齋田 繁彦

齋田 繁彦 について

, 
綱島 祥隆

綱島 祥隆 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (8件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  峰 隆司 ,  福原 淑弘 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-102113
公開番号（公開出願番号）：特開2007-273994
出願日： 2007年04月09日
公開日（公表日）： 2007年10月18日
要約：
【課題】埋め込み特性や膜特性に優れたシリコン酸化膜を高アスペクト比を有する凹部に形成することが可能な半導体装置を提供すること。【解決手段】半導体装置は、半導体基板の主表面側に形成された凹部を有する下地領域と、前記下地領域の凹部内全体に埋め込まれた塩素を含有するシリコン酸化膜とを有することを特徴とする。【選択図】 図27
請求項（抜粋）：
半導体基板の主表面側に形成された凹部を有する下地領域と、前記下地領域の凹部内全体に埋め込まれた塩素を含有するシリコン酸化膜とを有することを特徴とする半導体装置。
IPC (11件)：
H01L 21/316 ,  H01L 21/768 ,  H01L 23/522 ,  H01L 21/318 ,  H01L 29/423 ,  H01L 29/49 ,  H01L 21/28 ,  H01L 29/78 ,  H01L 21/824 ,  H01L 27/108 ,  H01L 21/76
FI (10件)：
H01L21/316 C ,  H01L21/90 K ,  H01L21/318 B ,  H01L21/90 C ,  H01L29/58 G ,  H01L21/28 A ,  H01L29/78 301N ,  H01L27/10 651 ,  H01L27/10 681B ,  H01L21/76 L
Fターム (141件)：
4M104BB01 ,  4M104BB30 ,  4M104CC05 ,  4M104DD03 ,  4M104EE03 ,  4M104EE09 ,  4M104EE16 ,  4M104EE17 ,  4M104FF13 ,  4M104GG09 ,  4M104GG18 ,  4M104HH16 ,  5F032AA34 ,  5F032AA44 ,  5F032AA45 ,  5F032AA49 ,  5F032AA70 ,  5F032AA77 ,  5F032DA03 ,  5F032DA33 ,  5F032DA53 ,  5F033HH04 ,  5F033HH08 ,  5F033HH11 ,  5F033HH18 ,  5F033HH19 ,  5F033HH21 ,  5F033HH23 ,  5F033HH32 ,  5F033HH33 ,  5F033HH34 ,  5F033JJ18 ,  5F033JJ19 ,  5F033JJ33 ,  5F033KK01 ,  5F033MM01 ,  5F033MM02 ,  5F033MM12 ,  5F033MM13 ,  5F033NN06 ,  5F033NN07 ,  5F033PP07 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ10 ,  5F033QQ13 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ21 ,  5F033QQ27 ,  5F033QQ31 ,  5F033QQ35 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ48 ,  5F033QQ49 ,  5F033QQ73 ,  5F033QQ74 ,  5F033QQ76 ,  5F033QQ89 ,  5F033RR03 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033RR13 ,  5F033RR14 ,  5F033RR15 ,  5F033RR20 ,  5F033SS01 ,  5F033SS04 ,  5F033SS13 ,  5F033SS25 ,  5F033SS27 ,  5F033TT07 ,  5F033TT08 ,  5F033VV16 ,  5F033WW04 ,  5F033XX01 ,  5F033XX02 ,  5F033XX04 ,  5F033XX10 ,  5F058BD04 ,  5F058BD06 ,  5F058BD10 ,  5F058BD13 ,  5F058BF04 ,  5F058BF24 ,  5F058BF30 ,  5F058BH03 ,  5F058BJ02 ,  5F058BJ04 ,  5F083AD00 ,  5F083GA03 ,  5F083GA29 ,  5F083JA14 ,  5F083JA19 ,  5F083JA39 ,  5F083JA40 ,  5F083JA45 ,  5F083JA56 ,  5F083MA05 ,  5F083MA06 ,  5F083MA20 ,  5F083PR07 ,  5F083PR21 ,  5F083PR40 ,  5F140AA14 ,  5F140AC32 ,  5F140BA01 ,  5F140BD12 ,  5F140BD13 ,  5F140BF04 ,  5F140BF10 ,  5F140BF11 ,  5F140BF15 ,  5F140BF20 ,  5F140BF21 ,  5F140BF27 ,  5F140BG03 ,  5F140BG04 ,  5F140BG09 ,  5F140BG12 ,  5F140BG14 ,  5F140BG36 ,  5F140BH15 ,  5F140BJ07 ,  5F140BJ11 ,  5F140BJ17 ,  5F140BJ20 ,  5F140BJ27 ,  5F140BK13 ,  5F140BK21 ,  5F140BK30 ,  5F140BK31 ,  5F140BK32 ,  5F140BK39 ,  5F140CB04 ,  5F140CC03 ,  5F140CC04 ,  5F140CC07 ,  5F140CC08 ,  5F140CC12 ,  5F140CC19 ,  5F140CE07
引用特許：
審査官引用 (4件)
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