薄膜形成装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：振角正一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-343681
公開番号（公開出願番号）：特開2003-151966
出願日： 2001年11月08日
公開日（公表日）： 2003年05月23日
要約：

【要約】【課題】第1プレートを第2プレートに対して滑らかに移動させ、両プレートの相対的な傾斜を確実に補正し、これによってシートフィルムに形成した薄膜を基板に対して表面が平坦で均一な膜厚をもって転写することができる薄膜形成装置を提供する。【解決手段】傾斜補正機構8は第1および第2支持体82.84を備えている。この第1支持体82は、第1方向Xに延びる第1軸部材81を介して第1プレート4に連結され、第1回動軸AX1を中心として第1プレート4を回動自在に支持する。また、第2支持体84は、第2方向Yに延びる第2軸部材83を介して第1支持体82に連結され、第2回動軸AX2を中心として第1支持体82を回動自在に支持する。このため、第1プレート4は2つの回動軸AX1,AX2を回動中心とする軸回動により移動方向Zに対して傾斜可能となっている。

請求項（抜粋）：

所定の移動方向に沿って互いに相対移動自在に対向して配設され、いずれか一方のプレートの対向面に基板が装着されるとともに、薄膜を有するシートフィルムが他方のプレートの対向面に装着される第1および第2プレートと、前記第1および第2プレートうちの少なくとも一方を前記移動方向に沿って他方側に移動させて前記基板と前記シートフィルムを所定の時間押し付けて前記薄膜を前記基板に転写する加重機構と、前記第1プレートを前記移動方向に対して傾斜自在に保持し、前記第2プレートに対する相対的な傾きを自動的に補正する傾斜補正機構とを備えた薄膜形成装置において、前記傾斜補正機構が、前記第1プレートの外周を取り囲むように配設され、前記移動方向に対してほぼ直交する第1方向に延びる第1回動軸を中心として前記第1プレートを回動自在に支持する第1支持体と、前記第1支持体の外周に配設され、前記移動方向および前記第1方向に対してほぼ直交する第2方向に延びる第2回動軸を中心として前記第1支持体を回動自在に支持する第2支持体とを備えていることを特徴とする薄膜形成装置。

Fターム (2件)：

5F045BB01 , 5F045EM01

引用特許：

審査官引用 (4件)

薄膜形成装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-319269 出願人：日本電信電話株式会社, 大日本スクリーン製造株式会社
薄膜形成装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-226374 出願人：日本電信電話株式会社
熱圧着装置と熱圧着方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-218955 出願人：富士通株式会社

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