特許
J-GLOBAL ID：200903034725153390

フローセンサ

発明者：
上運天 昭司

上運天 昭司 について

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田中 秀一

田中 秀一 について

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図師 信彦

図師 信彦 について

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畠山 洋志

畠山 洋志 について


出願人/特許権者：
株式会社山武

株式会社山武 について


代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-174700
公開番号（公開出願番号）：特開2002-365112
出願日： 2001年06月08日
公開日（公表日）： 2002年12月18日
要約：
【要約】【課題】 流速検出素子と配線基板の電気的な接続部を被計測流体から確実に保護することができ、流速検出素子の小型化を図るとともに、流体を整流し乱流や渦が生じないようにする。【解決手段】 流体の流路22(22a〜22f)を形成する管体21内に整流格子部材23、流速検出素子24および配線基板25を配設する。流速検出素子24は配線基板25の凹部33内に配設され、上面が保護膜43によって保護されている。流速検出素子24の電極パッド39と配線基板25の電極パッド47をボンディングワイヤ48によって接続し、この部分を流速検出素子24と配線基板25の電気的な接続部50とする。接続部50を合成樹脂51によって封止し、さらに整流格子部材23の一部(仕切板23d,23e)によって覆い、流体から保護する。
請求項（抜粋）：
流体の流路を形成する管体と、この管体内に配設され流路を複数の小流路に仕切る整流格子部材と、前記管体内に配設された配線基板と、検出部が保護膜によって被覆され前記複数の小流路のうちのいずれか1つに臨むように前記配線基板に配設された流速検出素子とを備え、この流速検出素子と前記配線基板の電気的な接続部を前記整流格子部材の一部によって覆ったことを特徴とするフローセンサ。
FI (2件)：
G01F 1/68 101 A ,  G01F 1/68 101 C
Fターム (4件)：
2F035AA02 ,  2F035EA03 ,  2F035EA04 ,  2F035EA08
引用特許：
審査官引用 (5件)
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