走査形電子顕微鏡

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-354293
公開番号（公開出願番号）：特開2006-093161
出願日： 2005年12月08日
公開日（公表日）： 2006年04月06日
要約：

【課題】本発明は低加速電圧領域で空間分解能の高い走査像を得ることの出来る走査形電子顕微鏡を提供することを目的としている。【解決手段】対物レンズ8の電子ビーム通路に加速円筒9を配置し、一次電子ビームの後段加速電圧10を印加する。また、試料12に重畳電圧13を印加して加速円筒9と試料12の間に一次電子ビームに対する減速電界を形成する。試料12から発生された二次電子や反射電子等の二次信号23は、試料直前の電界(減速電界)で加速円筒9内に吸引され、加速円筒9より上方に配置された二次電子検出器により検出される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

電子源と、電子源から発生した一次電子ビームを試料上に走査する走査偏向器と、前記一次電子ビームを収束する対物レンズと、一次電子ビームの照射により試料から発生する二次信号を検出する二次信号検出器とを含み、試料の二次元走査像を得る走査形電子顕微鏡において、前記対物レンズの電子ビーム通路に配置された加速円筒に一次電子ビームを加速する正電圧を印加する手段と試料に負電圧を印加する手段とを備え、前記加速円筒と試料の間に一次電子ビームを減速する電界を形成し、前記二次信号検出器を前記加速円筒より前記電子源側の位置に配置したことを特徴とする走査形電子顕微鏡。

IPC (5件)：

H01J 37/28 , H01J 37/244 , H01J 37/141 , H01J 37/147 , H01L 21/66

FI (5件)：

H01J37/28 B , H01J37/244 , H01J37/141 A , H01J37/147 B , H01L21/66 J

Fターム (22件)：

4M106AA01 , 4M106BA02 , 4M106BA14 , 4M106CA39 , 4M106DB02 , 4M106DB05 , 4M106DB18 , 5C033DD03 , 5C033DD04 , 5C033DD09 , 5C033DD10 , 5C033FF01 , 5C033FF03 , 5C033FF10 , 5C033NN01 , 5C033NP01 , 5C033NP05 , 5C033NP06 , 5C033UU01 , 5C033UU02 , 5C033UU04 , 5C033UU05

引用特許：

審査官引用 (5件)

粒子線装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-163940 出願人：シーメンスアクチエンゲゼルシヤフト
走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-306205 出願人：株式会社日立製作所
特開平4-149944

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