特許
J-GLOBAL ID：200903034892320265

非接触型吸着保持装置

発明者：
栗田 剛

栗田 剛 について

, 
中田 幹

中田 幹 について


出願人/特許権者：
リンテック株式会社

リンテック株式会社 について


代理人 (1件)： 山下 亮一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-299507
公開番号（公開出願番号）：特開2006-114640
出願日： 2004年10月14日
公開日（公表日）： 2006年04月27日
要約：
【課題】板状部材をその周縁部を除く部分(主要部分)を吸着テーブルに対してフローティングさせた非接触状態で吸着保持することによって、該板状部材をその面を傷付けることなく確実に保持することができる非接触型吸着保持装置を提供すること。【解決手段】本発明に係る非接触型吸着保持装置1は、エアー(気体)の噴出によって負圧を発生するベルヌーイ吸着手段10を吸着テーブル2に配置し、下面周縁部が前記吸着テーブル2上に載置されたウエハ(板状部材)Wの周縁部を除く部分(主要部分)を吸着テーブル2に対してフローティングさせた状態で、前記ベルヌーイ吸着手段10によってウエハWを保持してこれを吸着テーブル2に対して非接触で吸着保持することを特徴とする。又、前記吸着テーブル2に吸着保持された前記ウエハWの下面中央部を上方へ加圧して該ウエハWを略フラットに保持するための加圧手段を設ける。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
気体の噴出によって負圧を発生するベルヌーイ吸着手段を吸着テーブルに配置し、下面周縁部が前記吸着テーブル上に載置された板状部材の周縁部を除く部分を吸着テーブルに対してフローティングさせた状態で、前記ベルヌーイ吸着手段によって板状部材を保持してこれを吸着テーブルに対して非接触で吸着保持することを特徴とする非接触型吸着保持装置。
IPC (1件)：
H01L 21/683
FI (1件)：
H01L21/68 P
Fターム (7件)：
5F031CA02 ,  5F031HA13 ,  5F031HA14 ,  5F031HA80 ,  5F031MA34 ,  5F031NA17 ,  5F031PA26
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 真空吸着テーブル
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-128951   出願人：株式会社タカトリ
  • 基板保持装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-145546   出願人：日新電機株式会社
審査官引用 (4件)
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