特許
J-GLOBAL ID：200903034921478159
インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大菅 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-311534
公開番号（公開出願番号）：特開2001-129998
出願日： 1999年11月01日
公開日（公表日）： 2001年05月15日
要約：
【要約】【課題】インク供給溝の周縁部にチッピングやクラックが発生し難いインクジェットプリンタヘッド及びその製造方法を提供する。【解決手段】インク供給溝形成用レジストマスク41のパターン開口周縁部41aを共通電極28の初期開口周縁部28-1よりも外側になるよう広く形成してサンドブラスト加工を行う。レジストマスク41のパターン開口内に露出したヘッドチップ基板25の表面が穿削され、これと平行して同じくレジストマスク41のパターン開口内に露出する共通電極28の初期開口周縁部28-1が穿削される。所定時間経過後にレジストマスク41のパターン開口周縁部41aから更にややえぐられた位置に共通電極28の開口周縁部28aが形成され、これと同位置かつ同形状にインク供給溝33の開口周縁部33aが形成される。レジストマスク41を除去して完成したインク供給溝33の周縁部は共通電極28と強固に密着していてチッピングやクラックの発生が防止されている。
請求項（抜粋）：
基板の表面に凹設された溝部と、前記基板に積層した発熱抵抗体層と配線電極層を所定の形状にパターニングして形成された複数のエネルギー発生素子と、前記基板上に立設され、前記エネルギー発生素子の配設領域にインクを供給するインク流路を区画する隔壁と、前記エネルギー発生素子に対応して設けられ、前記エネルギー発生素子が発生させた圧力によりインクを所定方向に吐出させる複数の吐出ノズルと、を有するインクジェットプリンタヘッドであって、前記溝部の開口の全周縁に沿い、前記基板の表面が露出しないように覆って、前記基板上に設置する部材の内の少なくとも1部材を配設した、ことを特徴とするインクジェットプリンタヘッド。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J 3/04 103 B
, B41J 3/04 103 H
2C057AF65
, 2C057AF93
, 2C057AG12
, 2C057AG33
, 2C057AP02
, 2C057AP11
, 2C057AP22
, 2C057AQ02
, 2C057BA04
, 2C057BA13
