無人搬送車

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：矢野寿一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-279794
公開番号（公開出願番号）：特開2003-086655
出願日： 2001年09月14日
公開日（公表日）： 2003年03月20日
要約：

【要約】【課題】据付誤差や製造誤差等によりステーション自体あるいは床面が傾いていても、枚葉移載装置によるステーションとの間でのウエハの移載作業が確実かつ円滑に行える無人搬送車を提供する。【解決手段】無人搬送車1に、走行車輪9・9・・・を備えた走行部2と、枚葉移載装置5およびバッファカセット6を備えた作業部3とを備え、作業部3を走行部2に対して上下方向へ揺動可能に設けると共に、作業部3を走行部2に対して揺動させるサーボモータ14と、サーボモータ14の制御部27とを設け、枚葉移載装置5に物品を支持する移載ハンド31を設け、移載ハンド31のウエハ10の支持面31aと、ストッカ22上ウエハ10の載置面(棚23b)とが略平行となるように、制御部27がサーボモータ14を制御する。

請求項（抜粋）：

走行車輪が設けられた走行部と、物品を収納する物品収納装置および物品を移載する枚葉移載装置が設けられた作業部とを備え、枚葉移載装置により、物品収納装置と、走行経路に沿って設けられているステーションとの間で、物品を移載する無人搬送車であって、作業部を走行部に対して上下方向へ揺動可能に設けると共に、作業部を走行部に対して揺動させる揺動手段と、揺動手段の制御部とを設け、枚葉移載装置には物品を支持する移載ハンドを設け、移載ハンドの物品支持面と、目的のステーションの物品載置面とが略平行となるように、制御部が揺動手段を制御することを特徴とする無人搬送車。

IPC (6件)：

H01L 21/68 , B61D 27/00 , B61D 47/00 , B65G 1/00 501 , B65G 1/00 547 , B65G 49/07

FI (7件)：

H01L 21/68 A , B61D 27/00 S , B61D 47/00 A , B65G 1/00 501 C , B65G 1/00 547 B , B65G 49/07 D , B65G 49/07 L

Fターム (49件)：

3F022AA08 , 3F022BB09 , 3F022CC02 , 3F022EE05 , 3F022KK10 , 3F022LL12 , 3F022NN13 , 3F022PP06 , 5F031CA02 , 5F031DA01 , 5F031DA17 , 5F031EA09 , 5F031FA01 , 5F031FA03 , 5F031FA07 , 5F031FA09 , 5F031FA11 , 5F031FA12 , 5F031FA14 , 5F031FA18 , 5F031GA03 , 5F031GA08 , 5F031GA24 , 5F031GA35 , 5F031GA36 , 5F031GA44 , 5F031GA46 , 5F031GA47 , 5F031GA49 , 5F031GA50 , 5F031GA58 , 5F031HA13 , 5F031HA59 , 5F031JA02 , 5F031JA04 , 5F031JA15 , 5F031JA28 , 5F031JA29 , 5F031JA35 , 5F031JA50 , 5F031KA10 , 5F031KA11 , 5F031KA14 , 5F031KA15 , 5F031KA20 , 5F031LA14 , 5F031LA15 , 5F031PA02 , 5F031PA16

引用特許：

審査官引用 (6件)

半導体ウエハ搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-267890 出願人：三菱電機株式会社
無人搬送車
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-199043 出願人：神鋼電機株式会社
特開平2-094542

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