特許
J-GLOBAL ID:200903034943702770

特徴形成方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 中島 淳 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-006720
公開番号(公開出願番号):特開2003-225943
出願日: 2003年01月15日
公開日(公表日): 2003年08月12日
要約:
【要約】【課題】 高分子材料に特徴を形成する方法を提供する。【解決手段】 この方法は、基板上に形成されたポリマー層をアブレーションレーザで照射し、ポリマー層に少なくとも1つの特徴を形成するステップを含む。ポリマー層は非感光性材料を含み、基板は、珪素、石英、ガラス、セラミックス、及び金属からなる群から選択される材料を含む。少なくとも1つの特徴は、(i)約2ミクロン乃至約1000ミクロンの幅、及び(ii)約0.1ミクロン乃至約1000ミクロンの高さを有する。
請求項(抜粋):
ポリマー層に特徴を形成する方法であって、基板上に形成されたポリマー層をアブレーションレーザで照射し、前記ポリマー層に少なくとも1つの特徴を形成するステップを含み、前記ポリマー層は非感光性材料を含み、前記基板は、珪素、石英、ガラス、セラミックス、及び金属からなる群から選択される材料を含み、前記少なくとも1つの特徴は、(i)約2ミクロン乃至約1000ミクロンの幅、及び(ii)約0.1ミクロン乃至約1000ミクロンの高さを有する、前記方法。
IPC (3件):
B29C 59/16 ,  B41J 2/05 ,  B41J 2/16
FI (3件):
B29C 59/16 ,  B41J 3/04 103 B ,  B41J 3/04 103 H
Fターム (19件):
2C057AF93 ,  2C057AP23 ,  2C057BA13 ,  4F209AD03 ,  4F209AD04 ,  4F209AD05 ,  4F209AF01 ,  4F209AF16 ,  4F209AG01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AH81 ,  4F209AK03 ,  4F209PA15 ,  4F209PB01 ,  4F209PC01 ,  4F209PC05 ,  4F209PC06 ,  4F209PC08
引用特許:
審査官引用 (6件)
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