光硬化性樹脂成型用モールドおよび該モールドを用いる硬化物の製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-236224
公開番号（公開出願番号）：特開2006-182011
出願日： 2005年08月17日
公開日（公表日）： 2006年07月13日
要約：

【課題】光硬化性樹脂成型用モールド、該モールドを用いる表面に微細パターンが形成された硬化物の製造方法、該製造方法を用いて得られる表面に微細パターンが形成された硬化物を提供する。【解決手段】表面に微細パターンを有し、かつ波長200〜500nmの光に対する全光線透過率が90%以上である光硬化性樹脂成型用モールドであって、該モールドが含フッ素重合体の50質量%以上を含む光硬化性樹脂成型用モールド、該光硬化性樹脂成型用モールドに光硬化性樹脂を押し付ける工程、該モールド上に光を照射して光硬化性樹脂を硬化させる工程、および光硬化性樹脂を硬化させて得た硬化物をモールドから離脱させる工程を具備することを特徴とする表面に微細パターンが形成された硬化物の製造方法、および該製造方法を用いて得られる表面に微細パターンが形成された硬化物。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

表面に微細パターンを有し、波長200〜500nmの光に対する全光線透過率が90%以上である光硬化性樹脂成型用モールドであって、該モールドが含フッ素重合体の50質量%以上を含むことを特徴とする光硬化性樹脂成型用モールド。

IPC (4件)：

B29C 33/42 , B29C 39/02 , B29C 33/38 , H01L 21/027

FI (4件)：

B29C33/42 , B29C39/02 , B29C33/38 , H01L21/30 502D

Fターム (23件)：

4F202AA44 , 4F202AJ03 , 4F202AJ06 , 4F202AJ07 , 4F202AJ11 , 4F202AR20 , 4F202CA27 , 4F202CB01 , 4F202CD23 , 4F202CD30 , 4F202CK11 , 4F202CK43 , 4F204AA44 , 4F204AG05 , 4F204AH73 , 4F204AJ03 , 4F204EA03 , 4F204EB01 , 4F204EB29 , 4F204EF27 , 4F204EK18 , 4F204EK24 , 5F046AA28

引用特許：

出願人引用 (2件)

流体圧力インプリント・リソグラフィ
公報種別：公表公報出願番号：特願2002-513006 出願人：ナノネックスコーポレーション, チヨウ,スティーヴン,ワイ.
段付き鋳張り捺印式リソグラフィー
公報種別：公表公報出願番号：特願2000-604271 出願人：ボード・オヴ・リージェンツ,ザ・ユニヴァーシティ・オヴ・テキサス・システム

審査官引用 (4件)

成形品の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-248035 出願人：株式会社クラレ
樹脂成形型
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-281726 出願人：三菱レイヨン株式会社
特開平2-130738

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